판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #9207041

RUDOLPH/AUGUST NSX 95 Mask & Wafer Inspection Equipment는 반도체 및 옵토 전자 부품 제조에 사용되는 마스크 및 웨이퍼의 검사 및 분석을위한 고정밀, 고해상도 기계입니다. 이 시스템은 레이저 기반 광학 빔 전달 장치 (optical beam delivery unit) 및 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 을 사용하여 자세한 표면 텍스처 분석, 결함 테스트 및 기타 검사를 수행합니다. 기계는 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 비전 스테이션 (vision station) 은 마스크와 웨이퍼가 로드되고 검사됩니다. 레이저 제어 광학 빔이 표면 텍스처의 균일성을 측정하고 검증하는 데 사용되는 검사 스테이션 (Inspection Station) 입니다. 비전 스테이션에는 이미지 센서와 컴퓨터 제어 카메라 헤드 (camera-head) 가 장착되어 있어 웨이퍼 표면의 이미지를 캡처합니다. 그런 다음, 특수 소프트웨어는 이러한 이미지를 처리하여 점 결함을 식별하고 복잡한 표면 특성을 측정할 수 있습니다. 검사 소에는 마스크 및/또는 웨이퍼 표면을 정확하게 매핑하기 위해 레이저 빔 머신 (laser beam machine) 이 장착되어 있습니다. 이 도구는 특수 광섬유 빔슬리터 (optical-fiber beamsplitter) 를 사용하여 웨이퍼 또는 마스크 표면을 재 이미징하는 데 사용하기 위해 레이저 빔을 여러 개의 이산 빔으로 분할합니다. 이 빔은 표면에 초점을 맞추고 CCD 배열 (CCD array) 에 의해 수집 된 다음 다시 결합하여 표면의 이미지를 만듭니다. 이 이미지는 특수 컴퓨터 소프트웨어에 의해 분석되어 표면 거칠기 측정 (measuring surface roughness), 선 너비 (line width) 및 기타 피쳐와 같은 검사를 수행합니다. 이 자산은 또한 품질 관리, 결함 매핑 및 웨이퍼 추적을위한 강력한 소프트웨어 제품군을 제공합니다. AUGUST NSX-95 Mask & Wafer Inspection Model 은 반도체 업계의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계된 제품으로, 프로세스 주기 및 비용을 절감하면서 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다. 표면 텍스처 (surface texture) 및 기타 특성을 정확하게 측정하는 기능은 반도체 및 옵토 전자 부품 제조업체에 유용한 도구입니다.