판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #9196427

RUDOLPH / AUGUST NSX 95
ID: 9196427
Defect inspection system.
RUDOLPH/AUGUST NSX 95는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 온보드 카메라와 포토 마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 의 결함 및 이상을 감지하는 광원이 특징입니다. 주어진 기판을 포괄적으로 스캔하여 최대 6 개의 웨이퍼와 최대 14 개의 포토 마스크 (photomask) 를 동시에 검사하도록 설계되었습니다. AUGUST NSX-95는 다양한 optics 및 고급 조사 기술을 사용하여 높은 수준의 정확도를 제공합니다. 이러한 도구는 표면 피쳐와 코팅을 측정하는 데 사용되는 고 커플 링 역 현미경 시스템 (high-coupling inverse microscopy system) 으로 구성됩니다. 특이하게도, 이 기계의 광학의 세분성은 단일 서브 미크론 (sub-micron) 해상도까지 검사 할 수 있습니다. 또한, 고품질 다크 필드, 밝은 필드 및 단색 이미징을위한 필요한 조명 및 컴포넌트 엔트리가 장착되어 있습니다. RUDOLPH NSX 95는 향상된 세분성, 이미징, 고급 패턴 인식 및 동적 보고 기능을 제공합니다. 즉, 복잡한 패턴을 쉽게 인식하고, 상세한 이미지와 함께 사용자에게 다양한 분석 데이터를 제공합니다. 이 세부사항 을 보면, 주어진 어떤 기판 의 "에러 '도 쉽게 식별 할 수 있다. 8 월 NSX 95 의 주요 기능에는 작업 스케줄링 및 데이터 보고가 포함됩니다. 따라서 작업 (job) 을 미리 프로그래밍할 수 있으며, 추가 감독 (supervision) 이나 수동 데이터 입력 (manual data entry) 이 거의 없거나 전혀 없는 꾸준한 작업 흐름을 관리할 수 있습니다. 또한, 통합 소프트웨어를 사용하면 광범위한 보고서를 생성할 수 있습니다. 이 보고서는 워드 프로세싱 (word processing) 프로그램으로 손쉽게 전송할 수 있습니다. 효율성을 극대화하기 위해 NSX 95 는 저렴한 비용으로 유지 보수 및 수리 작업을 간편하게 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 자동 반전 벨트 드라이브 웨이퍼 전송 기계는 적절한 교정을 위해 사용됩니다. 또한 모듈과 구성요소의 교체는 비교적 간단하여 다운타임 (downtime) 과 유지 보수 비용 (maintenance cost) 이 줄어듭니다. 전반적으로 RUDOLPH/AUGUST NSX-95는 매우 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. 수작업 (manual monitoring) 및 데이터 입력 (data entry) 을 필요로 하지 않는 편리한 다양한 기능과 함께 탁월한 수준의 세분화, 자동화, 정확성을 제공합니다. 이것은 많은 생산 노력 중에서 선호되는 선택입니다.
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