판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #293755120

RUDOLPH/AUGUST NSX 95 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 완전히 자동화 된 고급 웨이퍼 검사 시스템입니다. 고해상도 주사 전자 현미경 (SEM) 과 로봇 웨이퍼 단계를 결합하여 빠르고 정밀한 웨이퍼 검사를 수행합니다. AUGUST NSX-95는 45nm 공정 기술까지 가장 단단한 레이아웃 공차 (layout tolerance) 를 빠르고 정확하게 검사하도록 설계되었습니다. uDSM (ultra-deep sub-micron) 수준에서 반도체 생산의 결함을 감지 할 수 있습니다. RUDOLPH NSX 95는 최고 0.2nm 해상도의 고속, 고해상도, 컬러 SEM과 최대 1000x1000äm의 이미지 크기를 제공합니다. 이는 정확한 결함 측정 및 인식에 필요한 가장 높은 확대 및 시야 (field of view) 를 제공합니다. 로봇 웨이퍼 스테이지 (robotic wafer stage) 및 통합 다이 영역 분석 (integrated die area analysis) 옵션은 생산 및 참조 웨이퍼에 대한 고속, 비파괴 결함 평가를 제공합니다. 또한 마스크 & 웨이퍼 검사 장치 (Mask & Wafer Inspection Unit) 는 동일한 조명 조건에서 샘플을 나란히 볼 수있는 고해상도 LED 조명기를 갖추고 있습니다. 이 기능은 패턴 인식을 포함한 색상 코드 기술에 필수적입니다. AUGUST NSX 95에는 강력한 자동 샘플 포지셔닝 툴이 장착되어 있어 견본 로드 시간을 단축하는 정확하고 빠른 샘플 포지셔닝 기능을 제공합니다 (영문). RUDOLPH NSX 95에는 사용자에게 최고의 정밀 결함 인식을 제공하기 위해 몇 가지 고급 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능에는 빠르고 신뢰할 수있는 결함 인식 알고리즘 (DRA) 이 포함됩니다. DRA는 인라인 생산 및 참조 결함을 모두 감지 할 수 있습니다. 또한 빠른 입자 분석을위한 AiPA (Automated Particle Analysis) 옵션과 자산 입력에 따라 올바른 웨이퍼를 선택할 수있는 ASA (Automated Sample Assignment) 가 있습니다. 마지막으로, NSX 95 는 백엔드 프로세스 모델과 강력한 데이터 스토리지에 대한 직접 결함 전송 (direct defect transfer) 과 보안 인터넷 접속을 통한 원격 진단/문제 해결 (troubleshooting) 을 제공합니다. 따라서 설치 작업이 쉽고 빠른 속도로 데이터를 전송하여 처리 시간을 단축할 수 있습니다. 전반적으로 RUDOLPH NSX-95는 강력하고 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 빠르고 정확한 웨이퍼 레벨 결함 검사를 허용합니다. 고속 주사 전자 현미경 및 로봇 웨이퍼 스테이지는 빠르고 정확한 샘플 포지셔닝 및 이미지 분석을 제공합니다. LED 조명 시스템, 결함 인식 알고리즘, 입자 분석 (Particle Analysis) 및 자동 샘플 (Automated Sample) 할당 기능은 모두 생산 및 공정 개발에서 최고의 정밀 결함 인식을 제공하면서 장치를 효율적이고 안정적으로 만듭니다.