판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #293689850

ID: 293689850
Defect inspection system, parts machine Loader Handler.
RUDOLPH/AUGUST NSX 95는 8 인치 및 12 인치 웨이퍼를 고속 및 해상도로 검사 할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 의 패턴 및 기타 기능을 감지 할 수있는 고급 비전 (Advanced Vision) 기술을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 자동 초점 장치 (autofocus machine) 가 장착되어 있어 포착 된 이미지의 정확도가 높으며 0.1mm 거리에서 웨이퍼 (wafer) 의 기능을 식별 할 수 있습니다. 이 도구에는 전체 웨이퍼 (wafer) 표면에 균일 한 조명을 제공 할 수있는 고급 조명 에셋이 있습니다. 이를 통해 결함이 더 명확해지고 쉽게 식별 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 고급 이미지 처리 기술을 사용하여 리소그래피, 서브 미크론 등록, 물리적 결함, 전기 결함, 오버레이 정확도 및 CD 분석과 같은 웨이퍼의 다른 측면을 식별합니다. AUGUST NSX-95에는 웨이퍼의 기울기와 평평함을 감지 할 수있는 플랫 레벨 검사 장비도 있습니다. 이는 설계 사양에 적합한지 확인하기 위해 중요합니다. 이 시스템에는 패턴 및 오버레이 정밀도를 확인할 수 있는 레이저 빔 프로파일러 (laser beam profiler) 도 있습니다. 이 장치에는 DIA (Defect Image Analysis) 머신이 장착되어 있는데, 이 머신은 높은 정확도로 웨이퍼의 결함을 인식하고 분류 할 수 있습니다. 이 도구에는 빠르고 쉽게 작업할 수 있도록 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스도 제공됩니다. 또한 여러 개의 작업 (job) 을 저장하고 로드하여 다른 검사 요구사항을 쉽게 전환할 수 있습니다. 자산은 검사 프로세스를 자동화하여 운영자의 개입 (Intervention) 을 줄이고 프로세스 속도를 높일 수도 있습니다. 마지막으로, RUDOLPH NSX 95는 기술 지원, 업그레이드, 예비 부품의 포괄적인 서비스 패키지도 지원합니다. 즉, 이 제품은 최고의 성능을 유지하며 앞으로 몇 년 동안 효과적으로 사용할 수 있습니다.
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