판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 90 #9272584

RUDOLPH/AUGUST NSX 90 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 반도체 제조에서 마스크와 웨이퍼를 검사하기위한 통합 인라인 솔루션입니다. 8 월 NSX 90 은 최고 수준의 정확성과 정확성을 제공하도록 설계되었으며, 마스크/웨이퍼 제품의 전반적인 품질과 안정성을 향상시킵니다. 시스템은 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 마스크 스테이지는 최대 10um/s의 검사 속도가 가능한 2 축 전동 X-Y 스테이지를 사용합니다. 웨이퍼 스테이지는 2 축 전동 X-Y 스테이지로 완전히 자동화되며 4 빔 접촉 정렬 장치가 포함되어 있습니다. 통합 옵틱 카트리지에는 2 개의 렌즈 모듈이 있습니다. 하나는 웨이퍼 검사용이고 다른 하나는 마스크 검사용입니다. 렌즈는 픽셀 해상도가 0.0008um으로 8X에서 100X로 가변 배율을 제공합니다. 통합 QX30 이미징 검출기는 초당 1000 프레임으로 이미지를 캡처 할 수 있습니다. 데이터 획득 및 분석 모듈은 강력한 이미지 분석 플랫폼을 제공합니다. 실시간 제어, 분석, 보고 기능을 갖춘 GUI 가 있습니다. 이 모듈에는 내장 어레이 비교, 형태학, 영역 분석 (region analysis) 방법을 사용하여 다양한 결함을 감지하도록 특별히 설계된 다양한 알고리즘이 포함되어 있습니다. RUDOLPH NSX-90 마스크 및 웨이퍼 검사기는 최고의 산업 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 강력한 하드웨어와 강력한 소프트웨어를 통해 모든 유형의 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 결함을 안정적으로 감지할 수 있습니다. 고속 성능과 정밀도를 통해 다양한 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 를 검사할 수 있습니다.