판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 90 #9150909

RUDOLPH/AUGUST NSX 90 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 마스크 또는 웨이퍼를 검사하기위한 고속 시스템입니다. 한 번의 스트로크로 23 초 동안 최대 90 와퍼를 검사하여 높은 생산 및 처리량을 제공합니다. 이 장치는 최대 3 개의 동작 축 (Y축 및 X축) 과 스핀 틸트 (ST) 스캐너) 을 제공합니다. Y축은 샘플을 적절한 검사 위치로 가져오는 데 사용됩니다. X축은 부품에 대한 수동 정렬에 사용됩니다. 스핀 틸트 스캐너 (spin-tilt scanner) 는 검사 방향에 사용되며, 균일한 조명 조건을 보장합니다. 검사기는 완전 디지털 기계이며, 고급 광학 부품이 포함되어 있습니다. 20nm의 광학 검사 해상도와 ± 2m의 3D 반복 성을 제공합니다. 카메라는 처리량이 높고 정확도가 높은 이미징을 위해 설계되었습니다. 고성능 조명은 다양한 각도로 동축 및 비 동축 조명을 모두 제공하여 최적의 이미지 세부 사항을 캡처합니다. 검사 도구에는 최첨단 이미지 처리 에셋이 장착되어 있습니다. 자동 결함 분류 (automated defect classification) 와 신속한 결함 검사를 통해 결함 이미지에 대한 고속 분석을 제공합니다. 작은 거품, 균열, 분실 또는 잘못된 부품, 뒤틀리거나 잘못 정렬 된 부품, 다양한 크기의 외국 물체 등의 결함을 감지하고 식별 할 수 있습니다. 이 모델은 결함 통계를 포함한 포괄적 인 웨이퍼 검사 데이터 분석도 제공합니다. 또한 8 월 NSX 90 Mask & Wafer Inspection Equipment 에는 지속적인 검사, 샘플 크기 조정, 배치 크기 조정 등의 추가 기능이 장착되어 있어 생산성 및 품질 제어가 향상되었습니다. Adaptive Scanning, Multi-focus Inspection, Job Loading 등과 같은 다른 기능도 검사 시스템에 운영 유연성을 더합니다.