판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 3DI AXI / UltraPort5 #9233701

RUDOLPH/AUGUST NSX 3DI AXI/UltraPort5는 반도체 업계의 고해상도 패턴화 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 기기는 마스크 슬라이스 (Mask Slice) 와 웨이퍼 (Wafer) 에 에칭 된 패턴의 결함을 탐지하여 탁월한 정확성과 반복 성을 제공합니다. 3DI 아키텍처는 고급 광학 (advanced optics) 을 사용하여 광원과 이미지 평면 사이에서 최대 5 ° 의 동적 이미징 각도 조정을 달성하며, 최대 80 ° 의 상단 각도로 패턴을 정확하게 검사할 수 있습니다. 이 "시스템 '은 광전도 공정 으로 인해 생기는 결함 에 대하여" 3' 에서 최대 5 "미터 '의 탐지율 을 보유 하고 있으며, 이것 은 가장 미세 한 결함 까지도 탐지 할 수 있게 해 준다. 독점적 인 사진 진공 조명 장치는 또한 입자 먼지로 인한 카메라 이미지의 변동을 크게 줄입니다. AUGUST NSX 3DI AXI/UltraPort5 는 직관적인 UI 인터페이스를 통해 사용 및 제어를 용이하게 하고, 모듈식 설계를 통해 고객의 구체적인 요구를 충족할 수 있습니다. RUDOLPH NSX 3DI AXI/UltraPort5 에는 자동 샘플 포지셔닝 및 방향성을 갖춘 혁신적이고 강력한 웨이퍼 등록 툴도 포함되어 있습니다. 이 자산은 각 검사가 정확하고 재생성적으로 수행되는 동시에 웨이퍼 버클링 효과 (wafer buckling effects) 를 예상합니다. 또한 "무비 (movie)" 모드 (옵션) 를 제공하여 정적 결함 패턴과 달리 동적 결함 클러스터와 같은 이동 대상을 검사할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 3DI AXI/UltraPort5 의 결함 범위를 크게 늘리는 Electron Beam Inspection 구성 요소를 제공합니다. 이 기능을 통해 제조업체는 단 몇 초 만에 전체 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 패턴 세트를 검사하여 처리량을 높이고 비용을 절감할 수 있습니다. 3DI AXI/UltraPort5 의 탁월한 처리 능력을 통해 최대 4 개의 웨이퍼를 동시에 매핑 및 검토할 수 있으며, '대형 7.5' LED 디스플레이는 손쉽게 결함을 파악할 수 있는 선명한 이미징 인터페이스를 제공합니다. NSX 3DI AXI/UltraPort5 는 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 최첨단 기술과 직관적인 설계의 이상적인 조합입니다. 이 모듈식 설계와 직관적인 인터페이스는이 시스템을 사용, 유지 관리가 간편할 뿐 아니라 비용 효율도 높게 만드는 반면, 예기치 않은 정확도로 작은 결함을 감지할 수 있습니다 (영문).