판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 330 #9298649

RUDOLPH/AUGUST NSX 330은 마스크 및 웨이퍼 결함을 신속하게 식별하여 프로세스 수익률 및 품질을 개선하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 첨단 광학 시스템은 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 을 사용하여 10 나노미터 이상의 정확도로 반도체 결함을 식별합니다. 이를 통해 이 프로세스는 최고 속도와 효율성을 자랑하는 고품질 제품을 생산할 수 있습니다. 8 월 장치는 LED 조명기, 디지털 카메라, 현미경 스테이지, 웨이퍼 지원 메커니즘, 이미지 캡처 소프트웨어 패키지, 필터 휠, 동력 X&Y 스테이지, 산업 PC 및 제어 및 운영 소프트웨어와 같은 구성 요소로 구성됩니다. 이러한 컴포넌트를 결합하면 마스크 및 웨이퍼 서피스의 작은 결함을 식별, 분류, 측정할 수 있는 자동화된 이미지 검사 머신 (automated image inspection machine) 이 생성됩니다. 이 도구는 "전자 빔 처리 (EBP)" 로 알려진 특허 기술을 사용합니다. 이 기법은 웨이퍼 (wafer) 및 마스크에서 이미지 데이터를 수집한 다음 참조 이미지와 비교합니다. 결과 차이 맵은 10 나노미터 이상의 해상도로 미세 결함을 감지하고 측정하는 데 사용됩니다. 에셋은 또한 최대 10 개의 다른 필터 세트를 순환하여 입자나 긁힘 (scratch) 과 같은 다양한 유형의 결함을 검사할 수 있습니다. 또한 AUGUST NSX 330 모델에는 강력한 이미지 분석 패키지가 있습니다. 이 패키지는 캡처된 이미지를 즉시 처리할 수 있으며, 검사 순서에서 감지된 결함에 대한 포괄적인 분석 기능을 제공합니다. 또한 이 장비는 배치 작업 (batch job) 을 허용하여 사용자가 단일 프로세스로 무제한의 웨이퍼/마스크 (wafer/mask) 를 검사할 수 있습니다. 신뢰할 수있는 검사 프로세스를 보장하기 위해 RUDOLPH 시스템은 각 검사 전후에 엄격한 품질 보증 (Quality Assurance) 확인 및 교정 절차를 사용합니다. 이렇게 하면 장치가 적절하고 효율적으로 작동합니다. 결론적으로, RUDOLPH NSX-330은 견고하고 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 머신으로, 프로세스 어셈블리의 품질, 수율, 속도를 향상시키기 위해 설계되었습니다. 최대 10 나노미터의 정확성으로, 이 도구는 매우 정확하고, 비용 효율적이며, 사용자 친화적입니다.