판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 330 #9160333
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RUDOLPH/AUGUST NSX 330은 심각한 결함 분석 및 웨이퍼 생산 제어에 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 대형의 LCD 모니터, 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 센서, 레이저 간섭계, 다양한 확대 옵션 등 특화된 광학으로, 다양한 기판 재료를 상향 조정하고 철저히 검사할 수 있습니다. AUGUST NSX 330은 매우 정확하며 밝고 평평한 표면에서 해상도가 0.5 m 하락한 이미지를 생성합니다. 또한 깊고 복잡한 표면 구조와 크고 작은 시야의 스캐닝을 허용하므로, 모노-결정질 (mono-crystalline) 또는 폴리-결정질 (poly-crystalline) 재료에 대한 다양한 검사 요구에 사용될 수 있습니다. 이 시스템에는 전동 높이 제어 (Motorized Height Control) 가 포함되어 현미경 장치의 광학을 빠르게 집중 할 수 있습니다. 또한, 관심 영역을 빠르게 집중시킬 수있는 다양한 자동 초점 (autofocus) 모드를 사용할 수 있습니다. RUDOLPH NSX-330은 수동 및 자동 검사를 용이하게하도록 설계되었습니다. 현미경 헤드와 함께 작동하는 통합 컴퓨터 제어 GUI (computer-controlled GUI) 를 통해 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 검사 작업을 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있으며, 다른 광학 장치 (예: confocal machine, LWD 또는 Darkfield 도구) 를 통합할 수 있습니다. RUDOLPH NSX 330은 정렬, 결함 감지, 도량형, 분류, 실패 분석 등을 포함한 프로세스와 함께 사용될 수 있으며, 이는 연구 및 개발 응용 프로그램 및 제조에 적합합니다. NSX 330은 또한 높은 수준의 유연성을 제공하여 디지털 SLR 카메라, 레이저 회절 시스템, LED 조명, 전자빔 이미징 (electron beam imaging) 또는 원자력 현미경 (atomic force microscopy) 을 지원하는 액세서리와 같은 광범위한 옵션과 액세서리를 통합 할 수 있습니다. 마지막으로, 안전하고 친숙한 NSX-330 인터페이스는 쉽고 안전한 작동을 보장합니다. 직관적인 터치스크린 덕분에, 운영자는 애플리케이션에 가장 적합한 매개변수를 손쉽게 선택할 수 있으므로, 빠르고 안정적인 자동 검사 (automated inspection) 작업을 수행할 수 있습니다. 이를 통해 생산성과 프로세스 최적화가 극대화됩니다.
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