판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 320 #9248723
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RUDOLPH/AUGUST NSX 320은 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 광범위한 애플리케이션 유형에 대한 높은 수준의 결함 감지 (Defect Detection) 및 검사 (Inspection) 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 반도체 칩, 마스크, 웨이퍼 검사의 생산 및 연구에 모두 사용될 수 있습니다. AUGUST NSX 320 장치는 웨이퍼 스케일 결함 감지 및 불투명 및 패턴 기능 검사를 제공합니다. 이 기계는 자동화된 카메라와 광원을 갖춘 광학 현미경으로, 쉽고 효율적으로 검사할 수 있습니다. 온라인 이미지 처리 및 결함 감지 알고리즘을 사용하면 파손된 패턴, 파손된 와이어 (broken wires), 잘못 정렬된 패턴 (misaligned pattern) 등의 결함 유형을 정확하게 검색할 수 있습니다. 이 에셋에는 결함 검토 (Defect Review) 및 분석 패키지 (Analysis Package) 도 포함되어 있어 사용자가 모델에서 감지한 결함을 검토하고 감지된 결과에 대한 보고서를 작성할 수 있습니다. 이 장비에는 사용자 정의 가능한 사용자 인터페이스가 있으며, 이 인터페이스는 직관적인 다차원 결함 검토 (예: 프로파일 수준 및 임계값 조정) 를 제공합니다. 이를 통해 시스템은 다양한 루틴 결함 검토 (Review) 및 분석 (Analysis) 작업을 수행할 수 있으므로 유연성과 처리량이 향상됩니다. 이 장치에는 일련의 웨이퍼 레벨 결함 클러스터링 분석 기능도 포함됩니다. 여기에는 구조 또는 피쳐 변형을 식별하는 통계적 분류 도구 (예: 상호 연결, 불규칙성, 그리고 잠재적 형태 결함을 나타내는 형태 매개변수) 가 포함됩니다. 또한 결함 패턴을 빠르고 정확하게 검토 할 수 있습니다. RUDOLPH NSX 320에는 또한 독특한 "스마트 상태 (Smart Status)" 기능이 있으며, 이를 통해 기계는 결함 추세를 지속적으로 모니터링 할 수 있습니다. 따라서 결함을 실시간으로 모니터링하여 성능 및 효율성에 대한 최신 피드백을 제공합니다. 자동화된 결함 분류 (automated defect classification), 패턴 분석 (pattern analysis) 과 같은 다른 발전과 결합하여, 결함을 빠르고 효율적으로 감지하고 분석할 수 있으며, 결함 감지 및 분석 기능이 향상되었습니다. 전반적으로 NSX 320 자산은 웨이퍼, 마스크, 기타 반도체 애플리케이션을 위한 견고한 고성능 검사 플랫폼을 제공합니다. 이 모델은 업계에서 탁월한 결함 감지 및 분석 기능을 제공합니다. EMC 의 기능, 유연성, 성능은 반도체 애플리케이션에 대한 심층적인 결함 감지, 분석 등을 실현하고자 하는 기업에 이상적인 선택입니다.
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