판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 320 #9243740

RUDOLPH / AUGUST NSX 320
ID: 9243740
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2013
Automated defect inspection system, 8" 2013 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 320은 리토그래피 기반 테스트 장치에 대한 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 분석을 제공하기 위해 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 ADDC (Automatic Defect Detection and Counting) 소프트웨어의 고급 나노메트릭을 사용하여 프로덕션 웨이퍼 및 마스크의 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 정량화합니다. 이 장치는 마스크와 웨이퍼의 미세한 결함을 감지하고 정량화하도록 설계되었습니다. AUGUST NSX 320은 웨이퍼 두께, 위험 및 오버레이, 이미지 품질, 채움 계수, 피치 측정과 지형적 결함을 정확하게 측정합니다. 혁신적인 자동 머신은 시간을 줄이고 테스트 장치의 효율성을 높입니다. 이 도구는 듀얼 뷰 조명 각도, 가변 필드 크기, 캘리퍼 (caliper) 기반 초점 에셋을 갖춘 단일 카메라 디자인을 활용하여 정확한 이미지 캡처 및 분석을 제공합니다. 이 모델의 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 은 반복 가능한 정확성과 최소한의 수동 개입으로 사이트 사이트, 격리 된 결함, 복잡한 결함을 감지하고 식별 할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 프로세스 조건과 결함 인식 지원, 뷰 찾기 프로세스, 자동 결함 계산, 자동 히스토그램, 크기 분포 분석, 자동 결함 감지 등의 기능을 제공합니다. RUDOLPH NSX 320은 플러그 앤 플레이 (Plug and Play) 기능, 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 및 자동 배치 처리를 통해 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 장비는 배치당 최대 8 개의 다른 크기의 웨이퍼를 지원합니다. 또한 사용자는 레시피를 정의하고 저장하여 프로세스 레시피 (레시피) 와 설정을 캡처하고 저장할 수 있으며, 반복 가능하고 최적화된 테스트를 위해 쉽게 재사용할 수 있습니다. 이 시스템은 SEMI E134 표준을 준수하며, 고객의 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 전반적으로 NSX 320 은 테스트 디바이스를 빠르고, 반복적으로, 정확하게 분석할 수 있도록 설계된 고급 자동 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장치입니다. 이 기계는 고급 결함 감지, 직관적인 GUI, 자동 배치 처리, 플러그 앤 플레이 (Plug and Play) 기능 및 고급 분석을 위한 혁신적인 단일 카메라 설계를 갖추고 있습니다. RUDOLPH/AUGUST NSX 320은 장치 제작, 반도체 생산 및 연구 및 개발을 지원하기 위해 안정적이고, 반복 가능하며, 일관된 측정 이미지 데이터를 제공합니다.
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