판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 320 #293827301

RUDOLPH/AUGUST NSX 320은 반도체 웨이퍼 및 마스크의 결함을 식별하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 기술에는 표면 결함, 허용 할 수없는 치수, 기타 잠재적 결함에 대한 마스크와 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사하는 다양한 이미징 (imaging) 및 분석 시스템 (analysis system) 이 포함되어 있습니다. 단일 경로 조명 시스템, 향상된 광학 장치 및 고정밀 x/y 스테이지로 8 월 NSX 320은 단일 정렬에서 최대 6 개의 웨이퍼 (3 개의 마스크 및 3 개의 웨이퍼) 를 스캔 할 수 있습니다. 이 장치에는 고급 입자 표시, 조정 가능한 깊이 제어 및 가변 Z 피치가 있습니다. 머신의 사양에는 8x8 mm의 시야를 자랑하는 이미징 도구 (Imaging Tool), 측면 해상도 (Sideral Resolution) 1.0 "m, 마스크 및 웨이퍼 검사에 사용하기 쉬운 인터페이스가 포함됩니다. 색상 독립 에셋은 또한 높은 동적 범위 및 고급 명암비 관리를 제공합니다. RUDOLPH NSX 320은 할로겐 (halogen) 및 냉광 (cold illumination) 과 같은 고급 조명 수준과 조명 기술을 사용하여 처리량을 극대화하고 이미지 품질을 향상시킵니다. 이 모델은 또한 지표면 (surface) 의 위치에 관계없이 짧은 결함과 긴 결함을 모두 식별하는 고급 결함 탐지 (advanced defect detection) 알고리즘을 특징으로합니다. 이 장비는 "스마트 (smart)" 결함 식별 시스템을 특징으로하며, 피쳐와 패턴을 구별하여 결함을 발견하기 어렵거나 작게 식별할 수 있습니다. 또한 NSX 320 은 신뢰성과 정확성을 보장하기 위해 특수 추적 장치 (Special Tracking Unit) 를 사용하여 시스템 내에서 각 검사를 캡처하고 기록합니다. 데이터를 사용하여 공구를 보정하고, 시간에 따라 각 검사를 추적할 수 있습니다. 전반적으로 RUDOLPH/AUGUST NSX 320은 표면 결함, 허용 할 수없는 치수 및 기타 잠재적 결함에 대한 마스크와 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 에셋입니다. 고급 이미징 모델, 가변 Z 피치 (Z-pitch) 및 통합 결함 감지 알고리즘은 사용자에게 안정적이고 반복 가능한 결과를 만드는 데 도움이됩니다.