판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 320 #293641043

ID: 293641043
Macro defect inspection system.
RUDOLPH/AUGUST NSX 320 Mask & Wafer Inspection Equipment는 반도체 제조에 사용되는 기판 및 마스크의 특성을 감지하고 모니터링하도록 설계된 고급 자동 장비입니다. AUGUST NSX 320은 최신 표면 관측 기술과 사용하기 쉬운 인터페이스, 정확한 프로세스 기능을 결합하여 마스크 및 웨이퍼 검사 요구를 위한 원스톱 (one-stop) 회사를 제공합니다. RUDOLPH NSX 320은 고급 이미징 기술을 사용하여 마스크와 기판의 고해상도 사진을 얻습니다. 이를 통해 사용자는 미세한 수준에서 프로세스에 영향을 미치는 결함, 오염 물질 또는 기타 문제에 대한 패턴을 조사 할 수 있습니다. 이 시스템은 특수한 성능 매개변수 (performance parameter) 를 갖추고 있어 검사 결과의 정확성과 해상도를 사용자정의할 수 있습니다. 이 장치의 웨이퍼 검사 부분에서, NSX 320은 고급 결함 감지 기능과 프로세스 최적화 기능을 제공합니다. 사용자는 결함 밀도, 처리량, 수율 등과 같은 매개변수를 자동으로 추적, 컴퓨팅, 비교하여 프로세스를 빠르고 정확하게 감사할 수 있도록 설계되었습니다. 이 툴은 스프레드시트 (spreadsheet) 와 PDF (PDF) 를 비롯한 다양한 형식으로 상세한 보고서를 생성할 수 있으며, 프로세스 추적성과 품질 제어를 동시에 제공합니다. RUDOLPH/AUGUST NSX 320의 마스크 검사 기능에는 아트 웍과 3D photomask를 포함한 모든 크기 및 레이어 유형의 마스크가 포함됩니다. 에셋은 전문가 알고리즘을 적용하여 잘못된 정렬, 변형, 불일치와 같은 매우 미묘한 패턴 결함을 정확히 파악합니다. 마스크 마사 기술 (Mask MASA Technology) 은 패턴의 자동/수동 측정 및 분석에 사용되므로 결함이 없는 주요 영역을 빠르고 정확하게 확인할 수 있습니다. AUGUST NSX 320에는 고급 조정 및 모니터링 기능이 나열되어 있습니다. 이 도구는 정확성을 보장하고, 모든 기존 오류를 감지하고, 새로운 오류를 최소화하여, 사용자가 마스킹 (masking) 레이어의 위치와 모양을 확인하고, 결과를 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 다양한 작업 제어 (Job Control) 및 자동 감지 (Automatic-Detection) 기능을 사용하여 일상적인 유지 보수 또는 제품 개발 과정에서 시간과 자원을 절약할 수 있습니다. 결국, RUDOLPH NSX 320 Mask & Wafer Inspection Model은 사용자에게 향상된 프로세스 제어 및 제품 품질 보증을 제공하는, 강력하고 안정적인 자동 검사 솔루션입니다. 이 장비는 고급 이미징, 마스킹, 교정, 모니터링 등 다양한 기능과 기능을 제공하며, 이전보다 빠르고, 정확하게 마스크, 웨이퍼 결함을 감지하고, 식별할 수 있습니다.
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