판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115D1 #9397708

ID: 9397708
빈티지: 2010
Automatic Optical Inspection (AOI) system August inspection system YASKAWA XU-RC400M-D03 Dual arm wafer transfer robot YASKAWA XU-ACP-130-B11 Pre-aligner (2) BROOKS AUTOMATION 162770-01 Vision load ports 2010 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115D1 Mask & Wafer Inspection Equipment는 매우 복잡한 레티클을 검사하고 최대 8 인치 크기의 웨이퍼를 검사하도록 설계된 특수 고속 자동 광학 검사 도구입니다. 이 시스템은 고속, 고해상도 CCD 카메라와 내장형 다축 동작 장치 (Multi-Axis Motion Unit) 를 갖추고 있어 매우 빠른 속도로 매우 복잡한 패턴을 이미징 할 수 있습니다. 강력한 컴퓨터 프로그래머블 컨트롤러 (Computer Programmable Controller) 와 고급 조명 (Advanced Illumination) 기능을 통해 컴퓨터에서 마스크 또는 웨이퍼 패턴의 결함을 빠르고 정확하게 찾을 수 있습니다. 이 도구는 자동, 수동 및 반자동의 세 가지 모드로 작동합니다. 자동 (automatic) 모드에서 에셋은 전체 마스크/웨이퍼 (mask/wafer) 의 고해상도 디지털화된 스캔을 수행하며 패턴의 결함을 자동으로 찾습니다. 이 모드는 매우 복잡한 패턴 (pattern) 에 가장 적합하며, 결함을 신속하게 감지하는 가장 효율적인 방법이기도 합니다. 수동 (Manual) 모드에서 사용자는 마스크 또는 웨이퍼 주위로 모델의 카메라를 이동하고 패턴의 단면을 수동으로 검사할 수 있습니다. (PHP 3 = 3.0.8, PHP 4) 반자동 (semi-automatic) 모드에서 사용자는 장비의 노출 설정 (exposure settings) 과 카메라의 초점 (focus) 을 수동으로 조정하여 검사의 정확성과 속도를 향상시킬 수 있습니다. 이 시스템에는 향상된 성능을 위해 열전 냉각 장치와 "더러운" 웨이퍼 슈트가 장착되어 있습니다. 이 기계의 고급 조명 기능 (Advanced Lighting Capability) 을 통해 마스크 및 패턴 재료의 매우 작은 결함을 감지할 수 있습니다. AUGUST NSX 115D1 Mask & Wafer Inspection Tool은 매우 엄격한 업계 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며 동급 최고의 결과를 제공합니다. 첨단 기능 (advanced features) 과 기술 (technologies) 을 통해 복잡한 레티클과 웨이퍼 패턴을 검사하는 데 이상적인 툴이 될 수 있습니다. 자산은 고객이 최고의 품질 표준을 충족하는 제품을 받게 합니다.
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