판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115D1 #293598225

ID: 293598225
Automatic Optical Inspection (AOI) system, 12" With auto handler Robot PC 2010 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115D1은 반도체 마스크 검사에서 중요 고해상도 검사 및 결함 검사에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 대한 빠르고, 고해상도 검사, 확장성을 제공하도록 설계된 포괄적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 완전하게 자동화된 검사 시퀀스, 마스크 발광에 대한 자동 정렬 (Autoalign) 기능, 높은 배율을 위해 향상된 이미지 디스플레이 (full-contrast enhanced image display) 를 갖추고 있습니다. AUGUST NSX 115D1에는 6X에서 900X까지 25 개의 확대 설정이 있으며, 5X에서 100X까지 빠르고 낮은 확대 검사를 가능하며, 상세한 검사 및 결함 분석을 위해 8X에서 900X까지 사용할 수 있습니다. 혼합 및 일치 검사 기능과 공구 세트 (Tool set) 간의 빠른 변경 기능은 마스크와 웨이퍼를 검사할 때 유연성이 향상되는 추가 기능입니다. 이 장치에는 마스크 또는 웨이퍼를 검사하고 분석하는 이미지 데이터를 캡처하는 고성능 디지털 카메라가 4 대 (4 대) 입니다. RUDOLPH NSX 115 D 1은 뛰어난 결함 감지 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 0.2 미크론, 8 미크론 정도의 결함을 감지 또는 표시 할 수 있습니다. 이 기계는 저조도 (Low) 와 고대비 (High Contrast) 검출 기능을 모두 제공하며, 고급형 다중 레이어 검출 도구를 통해 다양한 이미지 해상도를 표시하여 이미지 노이즈를 줄입니다. 이 자산에는 고성능 검사에 필요한 2 가지 고급 이미지 처리 알고리즘과 저대비, 고해상도 이미지 처리 (low-contrast, high-resolution image) 기능이 포함되어 있습니다. 확대/축소, 수동 포커싱, 로컬 영역 스캔, 측정 기능 등의 추가 기능을 통해 보다 효율적으로 검사하고 분석할 수 있습니다. 마스크 또는 웨이퍼 검사 측면에서 NSX 115 D 1은 void, open, shorts, burrs 및 기타 결함을 식별 할 수 있습니다. 자동 정렬 (Autoalign) 기능을 사용하면 기판의 마스크 패턴을 정확도 2 미터 이하로 정렬 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 텍스처, 입자 강조표시, 왜곡, 모서리 매핑 및 광학 및 카메라에 의해 감지 할 수없는 투명/왜곡 된 패턴을 검사합니다. RUDOLPH/AUGUST NSX 115 D 1은 안정적이고 간편한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 광범위한 어플리케이션에 대한 최대의 정확성과 제어를 제공합니다. NSX 115D 는 탁월한 성능, 탁월한 기능, 고급 설계로, 모든 반도체 제조 공정에 이상적인 솔루션입니다.
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