판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115D1 #293598224
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ID: 293598224
Automatic Optical Inspection (AOI) system, 12"
With auto handler
Robot
PC
Non-functional camera
2010 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115D1은 웨이퍼 제작 프로세스의 결함을 감지하고 정확하게 측정하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 탁월한 검사 품질과 정확성, 고급 (advanced) 알고리즘을 활용하여 전체 제조 공정에 걸쳐 품질 관리 (quality control) 를 보장하기 위해 결함을 정확하게 감지하고 측정합니다. 이 장치는 광학 정보 (Optical Information) 와 중요한 지형 데이터 (Critical Topographical Data) 를 모두 캡처할 수 있도록 설계된 고속 디지털 이미징 머신으로 구성되며, 뛰어난 정확도와 최소 이미지 노이즈를 제공합니다. 이 도구는 최대 5 "미크론 '의 해상도와 최대 500 배율로 이미지를 캡처할 수 있습니다. 또한 고속 초점 모드 (High Speed Focus Mode) 를 사용하여 가장 적합한 초점 (Focus) 을 신속하게 결정할 수 있습니다. AUGUST NSX 115D1 은 이미징 (Imaging) 자산에서 캡처한 여러 이미지와 다양한 소스에서 수집한 데이터를 조합하여 매우 상세한 결함 맵을 생성하는 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 와 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 갖추고 있습니다. 그런 다음 이 맵을 분석하고 저장된 품질 지표 (Stored Quality Metrics) 와 비교하여 검사된 부품의 품질과 정확도를 결정합니다. 이 모델에는 다양한 이미지 캡처/분석 기술, 프로그래밍 가능한 검사 전략, 자동 이미지 디스플레이 (Automated Image Display) 등 사용 편의성과 효율성을 향상시키도록 설계된 다양한 기능이 탑재되어 있습니다. 또한, 장비는 이미지에서 발견된 다양한 결함의 크기, 모양, 심각도를 결정할 수 있습니다. 이 시스템은 여러 산업 환경에서 효율적이고, 정확하게 성능을 발휘하도록 설계되었으며, 모듈식 설계 (modular design) 는 유연하게 제공되며, 기존 제조 공정에 쉽게 통합할 수 있습니다. 전반적으로 RUDOLPH NSX 115 D 1은 효과적이고 정확한 마스크/웨이퍼 검사 장치 (mask & wafer inspection unit) 를 필요로 하는 사람들에게 이상적인 선택으로 업계 최고의 성능과 결과를 제공할 수 있습니다.
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