판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9395408

RUDOLPH/AUGUST NSX 115 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 결함을위한 반도체 마스크를 검사하기위한 반자동 시스템입니다. AUGUST NSX 115 는 수작업 검사가 너무 많은 경우, 낮은 해상도의 이미징과 최대 4µm 해상도의 이미징에 대해 빠르고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 검사를 제공합니다. 이 장치에는 최대 8 개의 200mm 디아를 검사하기위한 웨이퍼 스테이지가 제공됩니다. 빠른 속도로 웨이퍼. 또한 여러 패드에 자동 초점 기능을 제공하는 조정 가능한 Mask Insight Machine MAG PIE와 400p/mm 렌즈와 함께 작동하는 고해상도 광학 공구 (Optical Tool) 를 통해 가장 훌륭한 결함까지도 감지할 수 있습니다. RUDOLPH NSX 115의 소프트웨어는 간단하고 직관적입니다. 여기에는 검사 작업을 프로그래밍하기 위해 사용하기 쉬운 대화 상자가 포함된 드래그 앤 드롭 인터페이스가 포함되어 있습니다. 에셋에는 웨이퍼 검사, 초점 조정이 가능한 웨이퍼 검사, 마스크 검사 등 3 가지 작동 모드가 포함됩니다. Wafer 및 마스크 검사는 시간당 최대 1,000 개의 웨이퍼 검사로 빠르고 쉽게 완료됩니다. 이 모델은 사용자 편의를 위해 합성 조리개 이미징 (synthetic aperture imaging), 디지털 비디오 줌 (digital video zoom), 밝게 하기 (lightening), 이미지 향상 기능 등 다양한 이미지 캡처 기능을 제공합니다. NSX 115 는 자동 패턴 인식 및 식별 기능도 제공합니다. 이 장비는 웨이퍼/마스크 로드/언로드용 AGV 로봇과 통합될 수 있으며, 검사 데이터를 저장하고 보관하기 위한 외부 오프라인 분석 스테이션 (off-line analysis station) 도 사용할 수 있습니다. 이 기능은 시스템의 컴팩트 한 디자인과 함께 광범위한 작업, 특히 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 검사 (mask inspection) 와 관련된 작업에 이상적입니다. 또한, 이 장치는 다양한 업계의 고객 요구를 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 결과적으로 RUDOLPH/AUGUST NSX 115는 반도체 마스크 및 웨이퍼 검사 분야에서 가장 정확한 사용자의 요구를 충족 할 수 있습니다.