판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9394174

RUDOLPH/AUGUST NSX 115 Mask & Wafer Inspection Equipment는 연속 마스크 및 이중 패턴 레티클 응용 프로그램을 검사하도록 설계된 고정밀, 고해상도 시스템입니다. 이 장치에는 5MP Square CCD 카메라가 장착되어 있으며 8um low-k1 및 10um high-k1 검사 해상도가 가능합니다. 카메라는 Z축에 장착되어 3D 마스크 형상의 전체 MDoF (Mask Depth of Field) 캡처와 고해상도 2D Top-View 마스크 검사를 제공할 수 있습니다. 또한 다중 프로젝터 3D 오버레이를 사용하면 수동 Confidassure Tool 채점 및 알고리즘 검색을 인라인으로 수행할 수 있습니다. 자산 하드웨어는 SofTec 머신 비전 (Machine Vision) 플랫폼에 의해 제어되므로 뛰어난 속도와 유연성으로 손쉬운 사용자 정의 및 데이터 처리가 가능합니다. 이를 통해 사용자는 검사 작업을 쉽게 전환할 수 있으며, 여러 레이어로 [증폭], [빼기], [이중 차이], [오버레이] 및 [복합 오버레이] 와 같은 여러 형식 도구를 편리하게 지원할 수 있습니다. 또한 2D Image Analysis, Reticle Edge Inspection, Line Edge Roughness, MEF, Focus Measurement, Measurement Integrity 및 Repetitive Defect Analysis와 같은 특수 응용 프로그램에 소프트웨어 패키지를 사용할 수 있습니다. AUGUST NSX 115는 Mask Slide Change, Defect Correction, Cross-Site Report Evaluation, Online OCR 및 Report Coding과 같은 기능을 통해 24/7의 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 Mask Load Strategy, Intricacy Map, Defect Management, Online Analysis 및 Pre-Cleaning과 같은 다양한 프로세스 제어 기능을 통해 운영자의 개입을 최소화하고 수율을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 강력한 5MP CCD 카메라와 소프트웨어 기능을 결합함으로써, 루돌프 NSX 115 (RUDOLPH NSX 115) 는 높은 결함률과 대면 할 때에도 최고 수준의 유지율을 제공하며, 낮은 주기 시간으로 매우 정확한 검사를 수행할 수 있습니다. 전체적으로 NSX 115 Mask & Wafer Inspection Model은 고정밀도, 저결함의 속도 검사를 위한 업계 최고의 솔루션으로, 연속 마스크와 이중 패턴 레티클 조작을 지원합니다. 강력한 5MP CCD 카메라, SofTec 기계 비전 플랫폼 및 다양한 지원 소프트웨어를 결합하여 RUDOLPH/AUGUST NSX 115는 신뢰할 수 있고, 처리량이 높으며, 정확한 검사를 제공 할 수 있습니다.