판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9389417
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ID: 9389417
Automatic Optical Inspection (AOI) System, 12"
With auto handler
Loadports
Handling unit
Chuck parts missing
Non-functional parts:
Main power breaker
Xport Power control PCB
HSCIC and ASI PC
Turret
Inspection and review camera.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115 Mask and Wafer Inspection Equipment는 마스크 정렬, 테이프 결합성, 누수, 웨이퍼 결함 및 다이 크래킹 등 광범위한 기능을 제공하는 자동 검사 시스템입니다. 이 장치는 독점 에지 감지 (edge-detection) 알고리즘과 향상된 가시성을 갖춘 고급 고해상도 이미징 머신 (high-resolution imaging machine) 을 사용하여 테스트 패턴과 이미지를 정확하게 해석할 수 있습니다. 이 도구는 300 및 400mm 웨이퍼 정렬 및 검사를 포함한 다양한 처리 기능을 제공하도록 설계되었으며, 최대 4,000 x 4,000 픽셀 이미지, 다양한 두께 및 재질의 웨이퍼를 수용할 수 있습니다. 또한 해상도, 속도, 광도, 조리개, 확대/축소 등의 다양한 광학 정렬 설정이 있습니다. 또한 자동 고속 충전 도구 (Fast Charge Tool), 내장 웨이퍼 홀더 (Wafer Holder), 고급 컴퓨터 제어 광학 테이블 (Advanced Computer-Controlled Optical Table) 과 같은 작업을 단순화하고 성능을 향상시키는 여러 기능이 제공됩니다. 8 월 NSX 115 의 핵심에있는 고급 이미징 에셋 (advanced imaging asset) 을 통해 모델은 0.2 미크론 정도의 결함을 감지 할 수 있습니다. 장비는 또한 긁힌 마스크, photomask 결함, light leak, missing/misaligned 구성 요소 및 misaligned dies와 같은 결함을 감지하고 보고 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 결과를 전체적으로 개괄적으로 설명하는 포괄적인 데이터 보고서를 제공합니다. RUDOLPH NSX 115는 운영 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 이 제품은 메뉴 기반 및 PC 기반 GUI를 제공하여 운영자가 신속하게 장치를 설치하고, 테스트 절차를 수행하고, 보고서를 생성할 수 있습니다. 또한 직관적인 작업 라이브러리 (job library) 로, 시스템이 실행 중일 때 작업을 저장하고 운영 데이터베이스에 자동으로 로드합니다. 또한 인벤토리 관리 자산 (inventory management asset) 을 통해 운영자가 테스트된 웨이퍼와 재료를 추적하고 자동으로 UV 노출 보고서를 생성할 수 있습니다. NSX 115 는 강력하고 안정적인 마스크/웨이퍼 검사 모델로, Hi-Volume 및 R&D 작업에 모두 적합합니다. 고급 옵틱 (Optic), 견고한 이미징 장비, 다양한 설정과 옵션을 갖춘 이 시스템은 품질 보증 (Quality Assurance) 및 생산에 적합한 선택입니다. 제품 성능과 수명이 많은 루돌프/아우구스트 NSX 115 (RUDOLPH/AUGUST NSX 115) 는 제조 공정 향상을 원하는 모든 시설에 적합한 제품입니다.
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