판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9328761

RUDOLPH/AUGUST NSX 115는 반도체 마스크와 웨이퍼에 대한 철저하고 안정적인 분석을 제공하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 자동화 (Automation) 및 이미징 (Imaging) 기술을 활용하여 웨이퍼 또는 마스크의 결함을 정확하게 파악하여 사용자가 문제를 사전에 파악하고 해결할 수 있도록 합니다. 이 장치는 최고 해상도 및 감지 감도를 제공하는 고급 CCD 이미징 어레이를 중심으로 제작되었습니다. 이 카메라는 임계 레이어 (critical layer) 의 고해상도 (high resolution) 이미지를 획득하고 처리하여 소재에 대한 상세한 분석, 웨이퍼의 미세한 기능을 생성하도록 설계되었습니다. 또한 큰 샘플에서 분리 셀, 임계 모양, 미세 패턴을 식별하고 분류 할 수 있습니다. 이 기계에는 웨이퍼를 이동하고 검사하는 과정을 용이하게 하는 자동화 도구 (automation tool) 도 포함되어 있습니다. 웨이퍼 스테이지에는 2 개의 선형 모터 드라이브 (Linear Motor Drive) 와 정확한 위치 및 샘플링을 위해 고주파 스핀들 드라이브 (Spindle Drive) 가 장착되어 있습니다. 이러한 동작 컴포넌트 (motion component) 는 노이즈를 최소화하면서 부드럽고 정확한 웨이퍼 이동을 위해 함께 작동합니다. 추가 기능으로는 정밀 접점 없는 표면 스캔 자산, 유연한 이중 조명, 품질 관리/검토 소프트웨어 등이 있습니다. 비접촉식 스캐닝 모델 (contactless surface scanning model) 은 잠재적 인 손상을 입히지 않고 웨이퍼에 피쳐를 측정하고 분류하도록 설계되었으며, 이중 조명 장비는 미세 입자와 금속 패턴을 관찰하는 다양한 기능을 제공합니다. 품질 관리 (Quality Control) 및 검토 (Review) 소프트웨어를 통해 결과를 신속하게 분석하고 확인할 수 있습니다. 전반적으로 AUGUST NSX 115는 마스크와 웨이퍼를 분석하기위한 훌륭한 기계입니다. 가능한 결함을 감지하여 사용자가 신속하게, 정확하게 파악하고, 해결하도록 설계되었습니다. 고급 이미징, 자동화 (automation), 품질 관리 (quality control) 기능을 통해 안정성과 정확성이 가장 중요한 다양한 업종과 애플리케이션에 적합합니다.