판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9289669

RUDOLPH/AUGUST NSX 115 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 제조업체와 생산 라인이 제품의 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수있는 고급 자동 품질 보증 (Quality Assurance) 도구입니다. 8 월 NSX 115 시스템은 마스크 현미경의 세부 이미지 캡처와 웨이퍼 검사 장치의 자동 정확도를 결합합니다. RUDOLPH NSX 115는 큰 시야 현미경과 FFV (full-of-view) 결함 검사의 사용을 결합합니다. FFV 스캔은 렌즈 및 전하 결합 장치 (CCD) 를 사용하여 전체 웨이퍼 또는 마스크의 큰 이미지를 캡처합니다. 그런 다음 이 이미지를 필드 (field) 또는 하위 필드로 분할한 다음 소프트웨어의 이미지 분석 알고리즘 (image analytics algorithm) 에 의해 처리됩니다. 이렇게 하면 기계 가 전체 "마스크 '나" 웨이퍼' 를 신속 히 검사 하고 결함 을 매우 빨리 탐지 할 수 있다. 이 도구는 FFV 스캔 외에도 포커스 (focus) 및 광감도 평가 (photosensitometry assessment) 와 같은 추가 마스크 및 웨이퍼 검사 기능을 제공하여 감도 및 정확도를 최대화합니다. 초점 평가 (Focus Assessment) 는 마스크 또는 웨이퍼 모서리의 선명도를 평가하며, 광감도 측정법 (Photosensitometry) 은 전체 시야에서 색상의 정확한 균형을 측정합니다. 이 두 가지 부가적 인 "테스트 '는" 마스크' 와 "웨이퍼 '가 적절 히 제조 되도록 하기 위하여 행해지며, 모든 결함 을 쉽게 탐지 할 수 있다. 또한 NSX 115 는 다양한 고급 기능을 제공하므로 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사를 위한 이상적인 솔루션입니다. 이러한 기능에는 통합된 결함 수정 분석 도구 (Integrated Defect Correction Analysis Tool) 가 포함되어 있어 감지된 결함을 쉽고 신속하게 수정할 수 있습니다. 이 자산에는 종합적인 온라인 사용 설명서, 시각적 도구가 포함된 GUI (그래픽 사용자 인터페이스), 원격 모니터링 장비 등의 내장 모델/지원 기능도 포함되어 있습니다. RUDOLPH/AUGUST NSX 115 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템은 강력하고 신뢰할 수 있는 자동 품질 보증 (Quality Assurance) 툴로, 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 대규모 시야 현미경 (field-of-view microscopy), 전체 시야 결함 검사 (field-of-view defect inspection) 및 기타 다양한 고급 기능의 조합으로, 제품의 품질을 보장하고자 하는 하이엔드 생산 라인과 제조업체에 이상적인 솔루션이 됩니다.