판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #293638622

ID: 293638622
빈티지: 2008
Automatic Optical Inspection (AOI) system 2008 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115는 리소그래피 및 사진 마스크에 사용되는 반도체 마스크를 검사하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 이미지 인식 및 광학 검사 기술을 활용하여 8 월 NSX 115 는 서브미크론 수준의 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 효율적이고 정확하게 식별할 수 있습니다. RUDOLPH NSX 115는 RGB LED 조명을 사용하여 하위 아이콘 결함의 측정 정확도를 향상시킵니다. 이 LED 조명에는 고급 이미지 처리 소프트웨어가 함께 제공되며, 시스템에서 마스크 구조의 패턴, 결함, 변화를 정확하게 구분할 수 있습니다. 서브 미크론 수준 정류 외에도이 장치는 자동 결함 분류 기계 (ADC) 를 사용하여 매크로 수준의 결함을 감지 할 수도 있습니다. NSX 115에는 공구의 이미지 출력을 표시하는 내장 12 인치 S4 모니터가 있습니다. 검사 프로세스의 결과는 RUDOLPH/AUGUST NSX 115의 특별히 설계된 사용자 인터페이스를 통해 쉽게 검토하고 평가할 수 있습니다. 또한 8 월 NSX 115 는 자동화된 웨이퍼 로딩/폐기 자산을 제공하여 효율성 및 처리량을 극대화합니다. 마스크 및 웨이퍼 검사 외에도 RUDOLPH NSX 115는 포토 마스크 프로세싱을위한 특수 패키지 (예: 특수 응용 프로그램 소프트웨어) 와도 호환됩니다. 응용 프로그램 소프트웨어에는 종합적인 이미징 매개변수 라이브러리 (Library of Imaging parameters) 가 있어 사용자가 검사 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 사용자는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafers), 캡슐화 된 기판 (encapsulated 기판) 또는 베어 다이 웨이퍼 (bare-die wafer) 를 포함한 다양한 기판을 처리 할 수 있으므로 반도체 공정 검사를위한 효율적인 도구입니다. 요약하자면, NSX 115 마스크 및 웨이퍼 검사 모델은 반도체 프로세스 검사를 위한 고급적이고 효율적인 도구입니다. RUDOLPH/AUGUST NSX 115는 LED 조명, 고급 이미지 처리 소프트웨어, 애플리케이션별 소프트웨어 패키지를 통해 서브미크론 및 매크로 수준의 결함을 정확하게 확인할 수 있습니다. 또한 AUGUST NSX 115 는 자동화된 wafer 로드/폐기 장비를 갖추고 있어 모든 검사 프로세스에 이상적인 제품입니다.
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