판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #293637221

RUDOLPH / AUGUST NSX 115
ID: 293637221
Automatic Optical Inspection (AOI) system (2) Loadports MF Chamber.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로 매우 정확하고 반복 가능한 결과를 제공 할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 광학 설계 (Advanced Optical Design) 를 사용하여 웨이퍼 서피스를 빠르게 이미징하고 비교할 수 있습니다. AUGUST NSX 115 는 5 배의 광학 이미징 줌 (zoom) 과 넓은 시야 (field of view) 를 갖추고 있어 매우 작은 마스크와 웨이퍼를 이미징할 수 있어 해상도가 뛰어납니다. 이 높은 확대는 마스크 (mask) 및 웨이퍼 (wafer) 표면의 결함을 식별하여 마이크로 제조 (micro-fabrication) 응용 프로그램에 이상적인 선택이됩니다. 루돌프 NSX 115 (RUDOLPH NSX 115) 가 사용하는 이미징 알고리즘은 마스크 또는 웨이퍼에서 표면 이동과 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 단위는 입자 크기와 형태를 빠르게 식별 한 다음, 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 의 상대적인 높이를 극도로 정확하게 측정 할 수 있습니다. 예를 들어, 1nm의 정확도로 레이어 두께를 측정 할 수 있으며 이미지 해상도는 0.1äm보다 좋습니다. 또한 임베디드 사용자 인터페이스 (Embedded User Interface) 를 통해 다양한 유형의 검사를 위한 유연한 설정이 가능합니다. 직관적 인 "메뉴 '구조 는 기계 를 쉽게 설치 하고 작동 시켜, 신속 하고 효과적 인 검사 결과 를 제공 한다. NSX 115는 평탄도 측정 및 3D 지형 측정으로 고급 결함 감지를 제공합니다. 이 도구는 독립 실행형 솔루션으로, 또는 더 큰 자동 플랫폼의 일부로 사용할 수 있으며, 일반적으로 마스크와 웨이퍼에 나타나는 패치 (patching), 스파이킹 (spiking), 구멍 (holes) 및 기타 결함을 제거할 수 있습니다. 자산의 고급 신호 처리 (advanced signal processing) 및 패턴 인식 (pattern recognition) 기능은 마스크와 웨이퍼 서피스의 결함을 감지하는 데 사용할 수 있는 매우 정확한 분석 결과를 사용자에게 제공합니다. 사용자는 강력한 기본 소프트웨어를 사용하여 검사 진행 상황을 제어하고, 결과를 보고하고, 검사 프로세스를 자동화할 수 있습니다. 또한 RUDOLPH/AUGUST NSX 115는 전기 신호, 강한 광원 및 먼지 또는 습도와 같은 부작용 환경 조건으로부터 잘 보호됩니다. 이는 실험실 또는 상업용 생산 환경에서 엄격한 검사 작업에 적합한 선택입니다. 전반적으로 8 월 NSX 115 는 최첨단 마스크/웨이퍼 검사 모델로, 사용자에게 매우 정확한 결과와 반복 가능한 결과를 제공합니다. 강력한 네이티브 소프트웨어 (Native Software) 는 사용자가 손쉽게 사용, 구성, 그리고 결함 크기와 형태를 정확하게 감지하고 분석할 수 있도록 해줍니다.
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