판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #293618548
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RUDOLPH/AUGUST NSX 115는 반도체 생산 시설에 사용하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 장비는 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 의 결함을 감지하는 데 사용되며, 회로 (Circuit) 요소의 기능에 해로운 영향을 줄 수 있으며, 제조업체가 제품의 품질과 신뢰성을 향상시키는 데 도움이 될 수 있습니다. AUGUST NSX 115는 고급 이미지 처리 알고리즘과 함께 브라이트필드 (brightfield) 및 다크필드 조명 (darkfield illumination) 을 사용하여 결함, 긁힘, 입자 등의 구조적 이상 및 결함에 대한 최대 민감도를 제공합니다. 마스크 및 웨이퍼의 고해상도 이미징 (고해상도 이미징) 을 제공하며, 최대 375배까지 확대하여 빠르고 정확한 오류 감지 기능을 제공합니다 (영문). 이 시스템은 사용자 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 제공하여 작업을 간소화하고 광범위한 운영자 교육을 받을 필요가 없습니다. RUDOLPH NSX 115에는 듀얼 축 스티어링 (dual-axis steering) 이 장착되어 있어 검출기 단계에서 웨이퍼의 고정밀 정렬 및 이동이 가능합니다. 또한, 다양한 배율로 웨이퍼 맵을 만들 수 있으며, 최대 36 개의 개별 맵 창을 열 수 있습니다. 이 기능은 도전적이거나 분석하기 어려운 영역의 이미지를 만드는 데 특히 유용하며, 결함의 원인을 지역화하는 데에도 유용합니다. NSX는 3D Image Stacking 기능으로 더욱 보완됩니다. 최대 8 개의 이미지 레이어를 사용하여 초점 레벨 (focus level), 자연 밝기 (natural brightness) 및 기타 매개변수를 변경하여 오류를 강조표시할 수 있습니다. 이 기능은 특히 작은 규모의 요소에서 입자와 미묘한 결함을 감지하는 데 유용합니다. 또한 NSX 115 는 마스크 정렬 및 분석을 위한 기본 보정 장치 (calibration unit) 를 제공하며, 오류 감지, 보고서 생성, 결함 위치 분석 및 기타 작업을 위한 호환 소프트웨어도 제공합니다. 뿐 만 아니라, 기계 는 수동청소 (manual cleaning) 의 필요성 을 감소 시키는 고급 청소 도구 (advanced cleaning tools) 를 갖추고 있기 때문 에 유지 하기 가 쉽다. RUDOLPH/AUGUST NSX 115는 고급 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 자산으로, 향상된 품질 관리, 장애 감지, 유지 관리 시간 단축 등 다양한 이점을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 매우 정확한 이미징 기능, 다양한 기능을 통해 모든 반도체 기능을 선택할 수 있습니다.
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