판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #293615443

AUGUST NSX 시리즈 115는 마이크로 전자 장치의 고정밀 이미징을 가능하게하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 5축 동작 플랫폼과 고급 옵토메카트로닉 (Optomechatronic) 및 이미징 (Imaging) 구성 요소를 사용하여 마스크 및 웨이퍼의 이미지를 매우 선명하고 세부적으로 정확하게 캡처하고 처리합니다. 핵심에서, 공수 입자는 CCD 카메라와 임베디드 포토 마스크에 의해 검출된다. CCD 카메라는 샘플의 밝기 이미지를 캡처하며, 이어서 4 개의 고정밀도 렌즈로 분석됩니다. 캡처된 이미지는 패턴, 오염 물질 (contaminant) 의 존재, 결함 감지 등의 불규칙성을 평가하고 검사합니다. 이미지 처리는 전용 알고리즘 (Proprietary Algorithm) 에 의해 관리되며, 이 알고리즘을 사용하여 단위는 이미지를 참조 표준과 비교할 수 있습니다. 그런 다음, 장치 또는 재료 내의 결함을 식별하기 위해 "시스템 '에서 비교 결과를 사용합니다. 이 도구는 사용자 정의 프로그래밍 제어 및 추가 데이터 처리 기능의 통합을 추가로 지원합니다. 또한 RUDOLPH NSX 시리즈 115 (115) 는 다양한 고급 기능을 제공하여 랩핑 및 연마 공정의 그림을 만들 수 있습니다. 이 알고리즘은 에셋의 CCD 카메라를 모션 플랫폼에 연결하여 각속도 (angular velocities), 변환 속도 (translational velocities) 및 스캔한 총 샘플 수를 계산할 수 있습니다. 모션 모션이 랩핑 및 광택 처리 (lapping and polishing process) 의 미세 튜닝을 가능하게 하는 경우 모델의 속도가 느려집니다. 다양한 응용 프로그램 및 샘플 유형을 추가로 지원하려면 RUDOLPH/AUGUST NSX 시리즈 115를 다른 옵틱, 몰입 장치 및 라이트 수어로 구성 할 수 있습니다. 또한, 전체 장비는 최대의 안정성과 내구성을 위해 제작되었습니다. 여기에는 광 컴포넌트 (optical component) 와 자동 (automated) 및 반자동 (semiautomated) 프로세스가 모두 포함되며, 시스템에서 실행할 수 있습니다. 결론적으로, AUGUST NSX 시리즈 115는 까다로운 마이크로 일렉트로닉 생산 환경에 탁월한 성능을 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 이 기계에는 옵토메트로닉스 (Optomechatronics) 및 이미징 컴포넌트 (Imaging Component) 가 캡처한 이미지의 탁월한 선명도와 세부 사항을 보장하는 다양한 기능이 들어 있습니다. 또한, 이 도구는 정교한 알고리즘을 구현하여 이미지를 참조 표준 (reference standard) 과 비교하고, 프로세스의 불규칙성 (imrulularity) 이나 결함 (defect) 을 감지할 수 있습니다.