판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #293598219
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ID: 293598219
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Automatic Optical Inspection (AOI) system, 12"
Auto handler
Robot
2009 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115는 다양한 반도체 장치 응용 프로그램의 결함을 감지하기 위해 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 이미징 기술 (advanced imaging technology) 과 고급 알고리즘 (advanced algorithms) 을 사용하여 고급 패키징 및 광전자를 포함한 다양한 재료를 검사합니다. 라인 너비 변형, 패턴 시프트, 논리 및 메모리 웨이퍼의 개방/깨진 회로, 초미세 Cu/Al 배선 등 이미지 관련 결함을 감지 할 수 있습니다. 8 월 NSX 115 는 완전 자동화된 통합 설계를 통해 운영자를 최소화하고 비용 효율적인 자동 검사를 수행할 수 있습니다. 고급 패턴 인식, WDIR (Wafer Identification Reader), 패턴 검사 및 자동 입자 감지를 포함한 강력한 광학 이미징 기능이 장착되어 있습니다. 또한 빠른 스캔 속도 (fast scanning speed) 와 장치 피쳐의 정밀 측정 (precision measuration) 등 다양한 검사 속도를 제공합니다. RUDOLPH NSX 115 는 고해상도 풀 컬러 화면 (full-color screen) 과 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있어 여러 마스크와 웨이퍼의 데이터를 빠르고 효율적으로 비교할 수 있습니다. 이 기계에는 다이 투 다이 검사, 웨이퍼 투 웨이퍼 검사, 동시 다이 투 다이 및 웨이퍼 투 웨이퍼 검사를 포함한 다양한 통합 검사 옵션이 있습니다. 또한 결함의 자동 분류를위한 독특한 패턴 인식 라이브러리 (pattern recognition library) 와 허위 감지 감소 (reduced false detection) 를위한 고급 패턴 일치 알고리즘 (advanced pattern matching algorithm) 을 제공합니다. 이 도구는 완전하게 자동화된 비전 기반 검사 기능으로 운영을 더욱 단순화해 주며, 이는 수동 샘플 검사 (manual sample inspection) 및 고가의 하드웨어가 필요하지 않습니다. 자산의 다중 영역 검증 기능은 부분 결함을 감지하기 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 또한, NSX 115 는 뛰어난 반복성과 재현성을 가지고 있으며, 탁월한 결함 감지 민감성을 제공하여 탁월한 결함 특성 및 항복 분석 기능을 제공합니다. 전반적으로 RUDOLPH/AUGUST NSX 115 모델은 반도체 장치 애플리케이션의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 다용도, 고성능, 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 이미징 기술, 빠른 스캐닝 속도 (fast scanning speed), 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖춘 이 시스템은 심각한 결함을 감지하고 수익률을 높일 수 있는 강력한 도구입니다.
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