판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 105C #9378642
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RUDOLPH/AUGUST NSX 105는 대용량 평면 패널 디스플레이 마스크 및 웨이퍼를 검사하는 데 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 광학 (optical), 비파괴적 (non-destructive) 검사 기술을 결합하여 기판에 작은 결함의 정확한 측정을 제공합니다. 이 장치는 반도체, LCD 디스플레이, 광전자 시장에서 까다로운 품질 보증 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 8 월 NSX-105 에는 최대 800 메가 픽셀의 기판 이미지를 캡처하는 고해상도 디지털 카메라가 장착되어 있습니다. 이 이미징 머신은 고속 검사 어플리케이션을 위해 설계되었으며, 일반 (normal) 모드나 고정밀 (high-precision) 모드와 함께 사용할 수 있습니다. 일반 모드의 경우 카메라 대역폭은 400Mbps, 고정밀 모드의 경우 카메라의 대역폭은 최대 800Mbps에 이릅니다. 이 도구에는 수동 정렬 (manual alignment) 없이 대용량 기판을 스캔할 수 있는 자동 모서리 감지 (automatic edge detection) 기능이 장착되어 있습니다. RUDOLPH NSX 105는 풀 필드 넓은 스펙트럼 조명 기능으로 5nm 정도의 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 표면 거칠기, 오염 물질, 구덩이 및 기타 결함을 감지 할 수 있습니다. 에셋에는 캡처하는 이미지를 분석하기 위한 고급 패턴 매칭 (pattern matching), 중앙값 (median) 및 평균 (averaging) 알고리즘이 장착되어 있습니다. 또한 복잡한 패턴을 감지하는 데 도움이되는 다각형 패턴 인식 기능이 있습니다. RUDOLPH/AUGUST NSX-105는 결함 분석, 기계 학습 및 기타 작업을 수행 할 수 있습니다. 검사하는 데 필요한 시간과 인력을 줄이기 위해 RUDOLPH NSX-105 는 반자동 방식으로 작동합니다. 연산자는 검사 매개변수를 설정할 수 있고, 모델은 자동으로 샘플을 검사합니다. 이를 통해 대형 기판을 빠르고 정확하게 검사 할 수 있습니다. 또한 RUDOLPH/AUGUST NSX 105 에는 멀티 존 (multi-zone) 데이터 분석 기능이 있어 운영자가 기판의 문제 영역을 쉽게 파악하고 필요한 경우 수정 조치를 취할 수 있습니다. 전반적으로 NSX 105 마스크/웨이퍼 검사 장비는 정확하고 정확한 측정이 필요한 대용량 기판에 대한 안정적이고 강력한 검사 솔루션입니다. 고속 이미징 시스템 (Fast Imaging System), 자동 에지 감지 (Automatic Edge Detection) 및 고급 패턴 인식 기능을 통해 다양한 기판을 검사할 수 있습니다. 반자동 운영 (Semi-Automatic Operation) 및 다중 영역 (Multi-Zone) 데이터 분석은 검사에 소요되는 시간과 인건비를 줄여줍니다.
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