판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 105C #9273802
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ID: 9273802
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2007
Inspection system, 8"
BROOKS (Robot and aligner)
Type C
(2) Load ports
2007 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105C는 반도체 제조 환경을 위한 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 광학 및 X-ray 이미징, 자동 Critical Dimension 측정, 결함 감지, 항복 분석, 높은 처리량 및 향상된 정확도를 결합합니다. 이 시스템은 마스크, 웨이퍼, 기판에 대한 심각한 결함 특성을 신속하게 분석하도록 설계되었습니다. CCD (Charged Coupled Device) 이미징과 고급 밝은 필드 조명을 모두 활용하는 강력한 광학 이미징 장치를 사용합니다. 이를 통해 기계는 1m까지 매우 작은 결함 크기를 감지 할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 광학 및 x-ray 이미징 기술을 통합하여 마스크와 웨이퍼 모두에서 표면 및 임베디드 결함을 검사합니다. 웨이퍼 검사 하드웨어에는 하위 미크론 해상도 자동 임계 치수 (CD) 측정, 이미지 기반 결함 감지 및 수율 분석이 포함됩니다. 이러한 하드웨어 조합을 통해 다양한 칩 크기와 복잡성 수준에 대한 실시간, 정확한 결함 검사, 분석 (분석) 이 가능합니다. 자산에는 진공 수준 로딩 챔버 (loading chamber) 가 포함되어 있어 반복 가능하고 정확한 측정을 위해 깨끗함을 보장합니다. 소프트웨어 인터페이스와 맞춤형 데이터 분석을 통해 8 월 NSX-105C 는 다양한 운영/연구 목적에 이상적인 모델입니다. 이 소프트웨어는 사용자가 도량형, 결함 검사, 특성화에 대한 가시성을 실시간으로 제공합니다. 또한, 사용자는 특정 운영 요구에 맞게 장비 데이터를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 Touch Screen 인터페이스를 통해 간편하고 빠른 탐색 및 제어 기능을 제공합니다. 전반적으로 RUDOLPH NSX 105 C 마스크 및 웨이퍼 검사 장치는 최신 광 및 x-ray 기술을 결합하여 다양한 반도체 제조 응용 프로그램에 대한 강력하고 포괄적 인 분석을 제공합니다. 고해상도 광학 이미징 기능, 자동 Critical Dimension 측정, 결함 감지, 항복 분석 등은 반도체 장치 제조업체를 위한 정교한 사용자 친화적 솔루션을 제공합니다.
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