판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9400702
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ID: 9400702
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 2005
Macro defect inspection system, 6"-8"
Automated wafer, die and bump inspection
Objectives: 1x, 2x, 5x, 10x, 20x
PC
2005 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105는 작은 크기의 고급 반도체 장치를 검사하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 초당 최대 10,000 개의 웨이퍼 이미지를 검사하고 0.6 미크론의 결함을 감지 할 수 있습니다. AUGUST NSX-105는 기능 크기 범위가 75nm ~ 800nm인 웨이퍼를 검사하는 데 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 고해상도 4kx4k CMOS 이미징 카메라 (CMOS Imaging Camera) 가 장착되어 있어 더 넓은 영역을 검사하고 이미지를 나란히 비교할 수 있습니다. 그 에 더하여, "카메라 '는 개방 된 선 과 반바지 에서" 워터마크' 와 "패턴 시프트 '에 이르기 까지 모든 결점 들 을 탐지 할 수 있다. 또한 RUDOLPH NSX 105에는 향상된 작업 설정, 데이터 검토, 감지 속도를 지원하는 자동 검사 스크립트의 소프트웨어 라이브러리가 포함되어 있습니다. 이 기계는 디지털 마이크로스코프 (microscope) 를 활용하여 고해상도 이미지를 제공하여 품질 결함에 대한 제품을 신속하게 평가합니다. 현미경에는 다양한 목표, 렌즈, 필터가 장착되어 있어 결함을 정확하게 감지하고 진단할 수 있습니다. 이 도구에는 Edge Detection 및 3D Lateral Step Height Mapping과 같은 여러 고급 검사 알고리즘도 함께 제공됩니다. 이 알고리즘은 재료의 불일치 및 결함을 감지하고, 또한 마스크/웨이퍼 (mask/wafer) 의 상태를 득점하여 프로세스의 성공을 등급화하는 데 도움이됩니다. NSX 105 는 고해상도 이미징 기능과 고급 자동 기능 (automated function) 으로 인해 고속 실리콘 웨이퍼를 검사하는 데 이상적인 솔루션입니다. 이 자산은 설치/사용이 간편하며, 최소한의 노력으로 많은 수의 웨이퍼 (wafer) 를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. 이 모델은 반도체 제조업체와 연구 실험실 (Research Laboratories) 이 사용하는 데 적합하며, 품질 보증을 위해 쉽고 안정적인 수단을 제공합니다.
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