판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9230604

RUDOLPH/AUGUST NSX 105는 마스크 (mask) 에 잘못된 웨이퍼 배치 (wafer placement) 로 인한 오류 위험을 줄이기 위해 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 그것은 DUV (Deep 자외선) 광학 현미경과 고해상도 CCD 카메라의 기능을 결합하여 뛰어난 검사 정확성과 반복성을 제공합니다. 웨이퍼와 마스크를 올바르게 배치하기 위해 8 월 NSX-105 는 마스크를 검사하면서 10 메가 픽셀 CCD 카메라 (LED 조명 포함) 를 사용하여 잘못된 배치로 인한 웨이퍼 표면의 오류, 왜곡, 그림자 등을 확인합니다. 고해상도 카메라는 최대 2048 픽셀의 세부 이미지를 생성하며, 0.5 미크론의 픽셀 해상도를 갖춘 고정밀 이미징을 제공합니다. 루돌프 NSX 105 (RUDOLPH NSX 105) 는 또한 마스크 및 웨이퍼의 데이터 분석을 수행하는 고급 소프트웨어 및 제어 시스템 (결과 실시간 표시 포함) 을 제공합니다. 언더 에치 (under-eched) 영역, 마이크로 패턴 및 부적절한 마스크 오버레이 등 다양한 결함을 감지하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한, 이 장치의 고급 기능 추출 (advanced feature extraction) 기술은 마스크와 웨이퍼 (wafer) 를 구별하여 운영자가 최적의 성능을 달성하기 위해 조정이 필요한 패턴을 신속하게 식별 할 수 있습니다. 또한 NSX-105 는 다양한 자동 마스크 및 웨이퍼 클리닝 기능을 제공합니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 에서 먼지, 오염 물질, 입자 를 제거 하는 데 기계적, 화학적, 진공적 기술 이 결합 되어 검사 과정 이 신속 하고 안정적 으로 완료 될 수 있게 한다. 또한 RUDOLPH/AUGUST NSX 105는 여러 개의 입력 및 출력 신호, 조명으로 인한 기하학적 왜곡 문제를 제거하기위한 자동 보상, 운영자의 피로를 줄이고 검사를 개선하는 인체 공학적 설계 등 다양한 고급 기능과 제어 기능을 제공합니다. 이 기계는 프로덕션 및 리서치 환경에서 사용하기에 적합하며 최신 그래픽 소프트웨어 (graphics software) 와 호환됩니다. 전반적으로 NSX 105 는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 툴로서 정확도, 반복성, 속도가 뛰어납니다. 고해상도 카메라, 강력한 소프트웨어, 자동 클리닝 (automated cleaning) 기능을 통해 운영자는 비용이 많이 들기 전에 문제를 빠르고 정확하게 파악하고 해결할 수 있습니다.