판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST E20/B20 #9256992

ID: 9256992
Wafer edge and backside inspection system.
AUGUST E20/B20은 탁월한 정확성과 정확도를 제공하는 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 광학 설계 (Advanced Optical Design) 를 통해 높은 처리량 검사를 위한 넓은 시야를 제공하여 작고 정확한 세부 사항을 신속하게 감지할 수 있습니다. 이 장치의 프로세서는 멀티 코어 컴퓨팅 아키텍처 (multi-core computing architecture) 와 특수 이미징 알고리즘을 사용하여 명암 개선, 광학 왜곡 수정, 자동 어두운 필드 수준 조정, 소음 감소 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한, 이 기계는 큰 웨이퍼에서 자동으로 결함을 감지하여 효율적이고 빠른 생산 라인 설정 (production line setup) 을 가능하게 합니다. 이 도구에는 고급 광/자산 보정 (Optical/Asset Calibration) 및 빠르고 신뢰할 수 있는 제어 및 측정 기능이 탑재되어 있습니다. 에지 샤프닝 (edge-sharpening) 및 이미지 안정화 기술을 사용하여이 모델을 사용하면 정확하고 반복 가능한 테스트가 가능합니다. 일부 추가 기능에는 높은 처리량 검사를 위한 짧은 테스트 주기 시간 (test cycle time) 및 다양한 사전 설정 검사 매개변수가 포함됩니다. 이는 업계에서 가장 빠른 전체 검사 주기 중 하나를 보장합니다. E20/B20은 최신 최첨단 기술로 설계되었으며, 빠른 응답과 안정적인 피드백을 제공합니다. 지능형 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스를 통해 다양한 강력한 검사 기능을 이용할 수 있습니다. 새로운 파라 메트릭 알고리즘 (parametric algorithm) 의 도움으로, 장비는 거짓 양성 (false-positive) 을 줄이기 위해 프로세스 변형으로 인해 발생할 수있는 모든 자연 변형을 분석 할 수 있습니다. 또한 검사 매개변수의 지루한 수동 튜닝이 필요하지 않습니다. 또한, 시스템은 검사 중이나 후에 실패율 (failure rate) 과 같은 주요 제품 통계의 명확한 대시보드를 제공합니다. 즉, 내장된 통계 처리 기능을 통해 제품 품질의 포괄적인 그림을 실시간으로 제공할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스는 설치 및 교정 프로세스를 단순화하여 간단하고 간단합니다. 또한, 디지털 필드와 내장 이미지 이동 모듈을 사용하면 다른 운영 장치와 손쉽게 동기화/교체할 수 있습니다. 전반적으로 RUDOLPH E20/B20은 강력하고 정교한 마스크 및 웨이퍼 검사 장치로, 안정성을 극대화하는 정확한 검사를 제공합니다. 최신 기술이 적용되었으며 고급 광/기계 교정 기능이 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 쉽게 설치 및 사용할 수 있습니다. 강력한 기능과 사용 편이성 덕분에, 이 도구는 어떠한 프로덕션 환경에서도 사용할 수 있습니다. (영문)
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