판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST CV 9812 #9296907
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RUDOLPH/AUGUST CV 9812는 반도체 생산 시설에서 고급 웨이퍼 레벨 검사 응용 프로그램을 위해 특별히 개발 된 고급, 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 기계는 마스크 및 웨이퍼 표면을 포함한 전체 웨이퍼를 검사하도록 특별히 설계되었습니다. 다중 해상도의 광학 현미경 시스템 (Optical Microscope System) 으로 구동되며, 검사 정확도는 몇 미크론 수준까지 낮아집니다. AUGUST CV 9812 는 지능형, 자동화된 이미징 및 분석 소프트웨어 유닛을 사용하므로 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 이상과 결함을 빠르고 정확하게 감지할 수 있습니다. 이 기계는 다른 유형의 입자 (particle), 입자 크기 (particles size) 또는 표면에서 추가 조사 또는 청소가 필요한 영역을 감지하도록 설정할 수 있습니다. 또한 RUDOLPH CV 9812는 오염, 오정, 빔 포커스 불량 또는 허용되지 않는 에칭 품질과 같은 잠재적 인 프로세스 결함을 감지하고 식별 할 수 있습니다. 이 검사 도구에는 다양한 측정 도구와 고급 분석 (Advanced Analysis) 기능이 장착되어 있어 평행선, 결함, 주 평면도 (main flatness) 및 기타 중요한 매개변수를 매우 정확하게 측정할 수 있습니다. 기계가 제공하는 세부 서피스 스캔 (Detailed Surface Scan) 을 사용하여 프로세스 매개변수의 미묘한 결함 또는 부적합성을 식별하여 효율적인 웨이퍼 레벨 최적화 및 결함 분석을 수행할 수 있습니다. RUDOLPH/AUGUST CV 9812는 또한 시각적 피드백 디스플레이를 통해 자동화된 데이터 수집 자산을 제공합니다. 이렇게 하면 전체 프로세스에 대한 빠른 개요와 개별 결과에 대한 자세한 피드백 (feedback) 을 얻을 수 있습니다. 또한 검사된 웨이퍼 (wafer) 의 라이브 그래픽 디스플레이를 사용자에게 제공합니다. 이 디스플레이는 상세하고 정확한 분석을 위해 여러 단계에서 가로채기 (intercept) 할 수 있습니다. 또한, CV 9812 는 전체 웨이퍼 표면 (wafer surface) 을 놀라운 속도로 스캔할 수 있으며, 추가 소모품이나 하드웨어를 사용하지 않고도 스캐닝할 수 있습니다. 즉, 이 모델은 특히 대용량 (Mab-Volume) 운영 실행에 효율적이고 비용 효율적입니다. 탁월한 결함 감지 기능 및 직관적인 사용자 인터페이스와 결합한 CV 9812 (CV 9812) 는 고급 반도체 생산 작업에 이상적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다.
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