판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9401136

RUDOLPH/AUGUST AXI-S 는 마이크로 일렉트로닉스 업계에서 프로세스 제어의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 포괄적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 속성 측정 기능과 고급 프로세스 제어 기능으로 완벽한 자동화를 제공합니다. 이 장치는 4 월 8 일 AXI-S, 정밀 XY 스테이지 및 임베디드 비전 머신의 두 가지 주요 부분으로 구성됩니다. 4RUDOLPH AXI-S, 정밀 XY 단계는 선형 모터를 사용하여 고속 이동을 달성하며 X, Y 및 Z 방향으로 0.1jm의 해상도로 개체를 정확하게 이동할 수 있습니다. 이 스테이지에는 최대 속도 1mm/s 및 힘 용량 1,500N 인 내장 로봇 암도 있습니다. 임베디드 비전 (Embedded Vision) 도구는 최신 지능형 이미지 인식 기술을 사용하며 멀티 플래시 이미지를 동시에 처리할 수 있습니다. 방대한 시야를 제공하며, 가장 까다로운 결함, 패턴까지 감지할 수 있습니다. 이 자산은 얇고, 두껍고, 매우 얇은 위상을 포함한 모든 유형의 마스크 및 웨이퍼에 대해 정확하고 안정적인 측정 데이터를 제공합니다. 측정 된 데이터는 통계 추세 분석 및 프로세스 최적화를 위해 추가로 처리됩니다. 이 모델은 또한 종합적인 소프트웨어를 제공하며, 실시간 이미지 디스플레이 및 멀티스텝 작업을 위한 사용자 친화적 GUI 를 제공합니다. 라이브 이미지 캡처, 이미지 조작 및 이미지 분석 및 분석을 지원합니다. 다양한 복잡한 작업을 통해 프로세스를 제어할 수 있습니다. 이 장비는 또한 기존 시스템과 통합 할 수있는 유연성을 제공합니다. 또한 NIST 동기화, OCR 패턴 인식, 이중 채널 경보 및 PLC 제어와 같은 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 사용자는 시스템 성능을 모니터링하고 사용자 정의할 수 있습니다. AXI-S 는 비용 효율적이고 다양한 마스크/웨이퍼 (wafer) 검사 장치로서 가장 높은 생산 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 다양한 복잡한 작업을 통해 안정적이고 정확한 측정 데이터 및 프로세스 제어를 제공합니다. 이 기계는 대용량 마이크로 일렉트로닉스 생산을위한 완벽한 솔루션입니다.