판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9378713

RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 반도체 제조 산업에 사용하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 미크론 수준까지의 결함을 매우 정확하게 감지 할 수 있도록 설계되었습니다. 고속, 정확하고 안정적인 성능, 뛰어난 청결 및 오염 제어 기능을 제공합니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 검사 장치 는 "마스크 '와" 웨이퍼' 사이 의 호환성, "웨이퍼 '의 기울기 각도," 마스크' 와 "웨이퍼 '임계 크기 의 추정 등 의" 마스크' 와 "웨이퍼 '매개변수 를 분석 할 수 있다. 또한, 이 기계는 특수 알고리즘을 사용하여 높은 종횡비 구조 (High-Aspect-Ratio Structure) 와 같은 다양한 고급 기능에 대한 마스크 및 웨이퍼 패턴 모양을 검사, 생성 및 최적화합니다. 고도의 고급 도구에는 매우 민감한 카메라가 장착되어 있어 웨이퍼 결함을 "서브 마이크론 (sub-micron) '수준으로 정확하게 감지할 수 있습니다. 카메라는 360도 자산으로 구성되어 있어 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 표면을 완벽하게 커버할 수 있습니다. 카메라는 전문 이미지 처리 알고리즘을 사용하며, 이를 통해 완전한 이미지 분석 (image analysis) 및 결함 식별이 가능합니다. 또한, 모델은 웨이퍼 및 마스크 서피스의 지형을 측정 할 수도 있습니다. 또한, 이 장비는 온도 및 습도 조절을 포함한 고급 환경 모니터링 기능으로도 설계되었습니다. 이러한 기능을 통해 시스템은 일관성 있는 운영 환경을 유지할 수 있으며, 이 운영 환경 (Operating Environment) 은 장치가 캡처하고 분석한 데이터의 정확성과 신뢰성을 보장합니다. 이 기계의 소프트웨어 구성요소 (software component) 는 매우 정교하고 커스터마이징이 가능하며, 고급 매개변수 (parameters) 설정을 통해 카메라가 획득한 데이터가 정확하고 신뢰할 수 있는지 확인합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 검사 결과를 상세히 설명하는 보고서를 효율적으로 생성할 수 있으며, 검사 중에 캡처한 데이터를 아카이빙할 수 있습니다 (영문). 또한 이 툴은 강력한 시뮬레이션 소프트웨어 (Simulation Software) 를 통합하여 다양한 설계 요구 사항을 시뮬레이션 및 분석할 수 있습니다. 전반적으로, 8 월 AXI-S 는 반도체 업계에서 사용하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 탁월한 속도, 정확성, 신뢰성, 뛰어난 청결 및 오염 제어 기능을 제공합니다. 또한, 이 모델에는 일관된 운영을 보장하는 통합 환경 모니터링 기능이 있습니다. 마지막으로, 소프트웨어 구성요소는 매우 정교하고 사용자 지정 가능한 설치 (Setting) 기능을 제공하여 효율적인 검사 보고서 작성 및 데이터 아카이빙 (Data Archiving) 을 지원합니다.