판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9350862
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RUDOLPH/AUGUST AXI-S Mask and Wafer Inspection Equipment는 고급 자동 검사 시스템으로, 포토 마스크, 30x30mm 웨이퍼 챌린지 및 기타 소형 부품의 자동화된 프로세스 제어를 위해 설계되었습니다. 이 장치는 케이싱, 광학 시스템, 컨트롤러, 이미지 처리 장치 등 여러 구성 요소로 구성됩니다. 8 월 AXI-S 마스크 및 웨이퍼 검사 머신의 케이스는 쉽게 작동하도록 설계되었습니다. 대규모의 인체 공학적으로 설계된 작업 표면, 2 개의 컨트롤러 디스플레이 및 4 개의 통합 글로브 박스 (glovebox) 를 갖추고 있어 검사가 완료된 부품을 손쉽게 처리할 수 있습니다. RUDOLPH AXI-S Mask 및 Wafer Inspection Asset의 광학 도구는 2 개의 강력한 쐐기 필드 평면 현미경으로 구성되어 있으며, 이는 광학적으로 매끄러운 표면의 이미징을위한 가벼운 현미경과 어두운 필드 조명, 또는 두 개의 투과 된 광면 현미경을 모두 허용합니다. 응용 프로그램에 따르면 이러한 광학은 2 개의 CCTV 카메라, Nikon의 CCD 카메라 2 개, Carl Zeiss의 USB 2.0 카메라 1 개 또는 Olympus의 디지털 카메라에 연결할 수 있습니다. 또한 AXI-S 마스크 (AXI-S Mask) 및 웨이퍼 검사 모델 (Wafer Inspection Model) 에는 고급 이미지 분석 및 측정 소프트웨어가 장착되어 있으며, 결함 분류 장비가 통합되어 검사 된 표면의 결함을 신속하게 감지하고 분류할 수 있습니다. 이 시스템은 검사 매개변수를 저장하고, 회수하고, 결과와 이미지를 외부 시스템으로 내보낼 수 있으며, 모든 이미지를 저장, 분석할 수 있습니다. 효율적인 작동을 보장하기 위해 장치에는 컨트롤러가 장착되어 있으며, 수동 (manual) 모드와 자동 (automatic) 모드 모두에서 연산자가 현미경을 제어할 수 있습니다. 컨트롤러에는 함수 생성기 (function generator) 와 보정 마법사 (calibration wizard) 가 있어 매개변수가 응용 프로그램에 맞게 최적화되었는지 확인합니다. 마지막으로 RUDOLPH/AUGUST AXI-S Mask 및 Wafer Inspection Machine은 포토 마스크, 30x30mm 웨이퍼 및 기타 소형 부품 검사에 최적화되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 다양한 분석 기능을 갖춘 기존 운영 제품군과 프로세스 제어 시스템 (process control system) 에 손쉽게 통합할 수 있습니다. 이 도구는 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었으며, 최고 해상도로 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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