판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9308155

RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 마스크와 웨이퍼를 검사하기위한 포괄적 인 솔루션입니다. 디지털 이미지 처리, 고정밀 도량형 등 다양한 서비스를 제공합니다. 8 월 AXI-S 는 고속 검사, 데이터 분석, 신뢰성 있는 프로세스 관리 기능을 갖춘 완벽한 장비입니다. RUDOLPH AXI-S는 특수 광학 부품, 고급 소프트웨어 및 맞춤형 로봇 처리 시스템으로 구성됩니다. 사진 감지 센서를 사용하여 마스크와 웨이퍼의 결함을 감지합니다. 센서는 정밀 x-y 스테이지에 장착되며, 이는 로봇 베이스로 스테이지의 원하는 위치로 이동할 수 있습니다. 이 "센서 '들 은 결함 의 정확 한 위치 를 측정 하기 위하여 보정 되어 각 결함 의 크기 를 정확 히 측정 할 수 있게 된다. AXI-S는 또한 웨이퍼의 모양과 방향을 측정합니다. 백라이미네이션 조명 (back-illumination lumination) 모드와 고급 모서리 탐지 (advanced edge detection) 알고리즘을 사용하여 웨이퍼의 모양과 위치를 정확하게 측정합니다. 이 장치는 또한 이미징 데이터 (Imaging Data) 에 대한 완전한 데이터 분석을 수행하여 결함 특성 (Defect Characterics) 과 디바이스 매개변수 (Device Parameter) 에 대한 자세한 분석을 제공합니다. 이 기계에는 또한 웨이퍼 추적 도구 (wafer tracking tool) 가 포함되어 있으며, 이 도구는 에셋을 통해 이동하면서 각 웨이퍼를 추적합니다. 이 모델은 간편한 관리 및 품질 제어를 위해 프런트엔드 (Front-End) 에서 장비 백엔드 (Back-End) 로 웨이퍼를 추적하는 기능을 제공합니다. 사용자에게 친숙한 RUDOLPH/AUGUST AXI-S 소프트웨어는 시스템을 제어하고 매개 변수를 구성하는 데 사용됩니다. 사용자는 사용자 정의 가능한 설정 (settings) 과 강력한 이미지 처리 도구를 사용하여 각 웨이퍼에 대해 쉽게 사용자 정의된 보고서를 생성할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 효율적이고 자동 결함 감지 및 쉬운 결함 검사를 제공합니다. 또한 자동 결함 분류 도구 (automated defect classification tool) 가 포함되어 있어 각 결함을 정확하게 측정하고 진단할 수 있습니다. 결함 분류 단위는 크기, 모양, 위치, 색상 등 다양한 매개변수를 사용하는 피쳐 레벨 분석을 기반으로 합니다. 이를 통해 정확도가 높고 결함 분석이 쉬워집니다. 8 월 AXI-S 는 속도와 정확도로 온라인 검사를 수행할 수 있도록 설계된 안정적인 마스크/웨이퍼 검사 머신입니다. 이 검사 도구는 사용자 정의가 가능하며, 신뢰할 수 있는 프로세스 내 제어 및 완벽한 데이터 분석을 제공합니다. 자동화된 결함 분류 자산 (Automated Defect Classification Asset) 은 다음 단계로 정확성과 결함 검사를 취하여, 프로세스 중과 프로세스 후에 사용자에게 완벽한 제어 및 분석을 제공합니다.