판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9298337
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RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 기판의 적합성을 평가하기위한 매우 정확하고 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 0.5 미크론 해상도의 웨이퍼 및 반도체 마스크 패널을 스캔 할 수 있습니다. 웨이퍼는 신중하게 정렬되어 X-Y (X-Y) 단계에 배치되며, 단 몇 초 안에 넓은 영역을 빠르고 정확하게 스캔 할 수 있습니다. 검사 시스템에는 고해상도 CCD 카메라, LED 광원 및 컴퓨터 제어 현미경 장치가 장착되어 있습니다. 현미경 기계에는 확대/축소 (zoom in) 및 정확한 위치 조정 기능이 있습니다. "CCD 카메라 '는" 컴퓨터' "소프트웨어 '에 의하여 처리 되고 분석 되는 기판 들 의 세밀 한" 이미지' 를 캡처 한다. LED 광원은 검사 도구에 대한 최적의 조명을 제공하는 반면, 광학 (optical) 자산은 선명한 이미지를 보장합니다. 검사 모델은 서피스 거칠기, 결함, 불균일 성, 입자 오염, 서피스 결함 등과 같은 광범위한 매개변수를 감지 할 수 있습니다. 전체 패널을 스캔하거나 심층 분석을 위해 관심 영역에 초점을 맞출 수 있습니다. 장비는 일정 기간 동안 데이터를 저장하고 추세를 추적하여 보다 정확한 결과를 얻을 수 있습니다 (영문). 8 월 AXI-S 검사 시스템은 반도체 업계의 수많은 애플리케이션에 적합한 다용도 툴이며, 수집된 데이터는 개발자, 생산자, 검사자에게 매우 유용합니다. 최첨단 기능과 첨단 기술로, 품질 관리 (quality control) 를 위한 안정적이고 효율적인 솔루션입니다. 모든 유형의 웨이퍼 및 마스크 기판에 대해 안정적인 성능, 반복 가능한 결과, 높은 정밀도를 제공합니다. 전반적으로, RUDOLPH AXI-S 검사기의 강력한 기능과 기술은 마스크와 웨이퍼 검사를위한 이상적인 플랫폼입니다. 데이터 수집 기능, 고밀도 (high precision), 반복 (repeatability) 기능을 통해 사용자는 기판 분석 및 검사에 대한 효율적이고 안정적인 시스템을 제공할 수 있습니다.
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