판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9270886

AUGUST-RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 2 차원 (2D) 전자 스캔 마스크와 3 차원 (3D) 웨이퍼의 결함을 검사하도록 설계된 특수 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 고유 한 광학 이미징 (optical imaging) 과 컴퓨터 기반 분석 (computer-based analysis) 의 조합을 사용하여 웨이퍼와 마스크 표면의 인쇄 또는 식각 패턴에서 하위 미크론 크기 결함을 감지합니다. 8 월 AXI-S 시스템은 맞춤형 설계 광학 현미경, 이미지 다이빙 장치, 직렬 포트, 스캐너, 디스플레이 모니터, 이미지 캡처, 다이빙, 분석을 위한 관련 소프트웨어가 포함된 컴퓨터 프로세서로 구성됩니다. 검사 중에, 조명 된 샘플 표면이 넓은 필드 현미경이있는 작은 영역 위로 스캔됩니다. 광학 현미경은 가시광선 (visible-light) 과 자외선 (UV) 광원의 조합을 사용하여 패턴의 디지털 이미지를 여러 각도 및 확대 (magnification) 로 캡처합니다. 이미지는 소프트웨어에 의해 타일로 표시되고 결함을 현지화하도록 검사됩니다. 그런 다음 특수 알고리즘을 사용하여 이미지를 분석하여 결함을 찾아 분류합니다. 마스크 및 웨이퍼를 검사하는 것 외에도 RUDOLPH AXI-S 장치는 이미지와 패턴을 실시간으로 캡처할 수 있습니다. 이 작업은 실시간 이미징 머신 (카메라, 인코더, 프레임 그래버) 을 사용하여 수행됩니다. 이 기능을 사용하면 여러 소스에서 동시에 이미지를 가져올 수 있으므로 패턴 (pattern) 과 결함 (defect) 을 동시에 비교할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 자동 이미지 캡처, 패턴 인식, 결함 확인, 실시간 통계 분석 등의 고급 기능을 제공합니다. 마지막으로 AXI-S 는 최고의 정확성과 효율성, 그리고 가장 까다로운 품질 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이것 은 기계적 충격, 진동, 자기장 에 강하며, 여러 가지 "샘플링 '환경 에 적응 할 수 있는 능력 을 가지고 있다. 고급 기술로 RUDOLPH/AUGUST AXI-S 모델은 웨이퍼와 마스크 모두에서 하위 미크론 크기 결함을 감지 할 수 있습니다. 그리고 사용자 친화적인 인터페이스를 통해, 사용하기 쉽고 작동이 용이합니다.