판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9262831

RUDOLPH / AUGUST AXI-S
ID: 9262831
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Wafer inspection system, 12" 2006 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 대량 생산, 품질 관리 및 생산 라인 테스트를 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마스크 및 웨이퍼의 가시적 (visible) 및 비가시 (non-visible) 특성을 모두 감지하는 여러 이미지 센서를 기반으로 빠르고 고해상도 검사를 수행할 수 있습니다. 다이 (die) 의 다양한 영역에서 결함을 감지할 수있는 넓은 시야와 능력을 갖춘 이 시스템은 규정 준수, 고성능 마스크, 웨이퍼 (wafer) 검사를 위한 종합적인 엔드 투 엔드 (end-to-end) 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 광 헤드 (Optical Head), 컨트롤러 (Controller) 및 일련의 이미지 수집 장치로 구성됩니다. 광학 헤드는 높은 수치 조리개로 설계되어 정확한 이미지 해상도 (image resolution) 와 높은 명암비 (contrast) 를 제공하여 안정적인 결함 검사를 보장합니다. 기계가 웨이퍼 (wafer) 나 마스크 (mask) 의 표면에서 매우 작은 결함을 감지할 수 있도록 고급 패턴 인식 (advanced pattern recognition) 알고리즘이 장착되어 있습니다. 컨트롤러에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 가 포함되어 있어 운영자가 쉽고 빠르게 도구를 구성하고 제어할 수 있습니다. 자산은 다양한 이미징/처리 소프트웨어와 호환되며, 이를 통해 이미지를 신속하게 테스트하고 검토할 수 있습니다. 검사 프로세스를 간소화하는 다양한 자동화 기능 (예: 자동 초점 조정 및 대비 최적화) 이 있습니다. 이 모델은 여러 웨이퍼 (wafer) 나 마스크의 결함을 동시에 빠르게 스캔하고 감지할 수 있습니다. 또한 내장 사용자 인터페이스는 여러 화면 창을 지원하여 동시에 검사할 수 있습니다. 또한 8 월 AXI-S 는 포괄적인 추적 가능성 및 품질 보고 기능을 제공합니다. 이 장비는 상세한 결함 보고서를 작성하도록 설계되었으며, 이는 품질 검토 (Quality Review) 에서 증거로 사용될 수 있습니다. 이 시스템은 또한 웨이퍼 및 마스크 검사를위한 통합 LED 백라이트 조명 장치를 제공합니다. 이 조명기 는 검사 받은 지역 에 균일 한 조명기 를 제공 해 주며, 여러 가지 일 에 맞게 쉽게 조정 할 수 있다. 전반적으로, RUDOLPH AXI-S는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 도구로서, 고급 광학 및 이미지 처리 알고리즘과 빠르고 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 직관적인 연산을 결합합니다. 동시에 여러 웨이퍼와 마스크 (mask) 의 결함을 신속하게 감지할 수 있으며, 포괄적인 추적 기능 및 품질 보고 기능을 제공합니다. 또한, 내장 LED 백라이트 조명 자산은 검사된 영역에 균일 한 조명을 보장하며, 사용자 인터페이스는 동시 검사를 위해 여러 화면 창을 지원합니다.
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