판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9248722

RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 효율적이고 안정적인 결과를 제공하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 이미징 기술과 고급 패턴 인식 (pattern recognition) 및 결함 분석 도구 (defect analysis tools) 를 결합하여 상세하고 정확한 검사를 제공하는 완벽한 기능의 도구입니다. 이 시스템은 SEM (Scanning Electron Microscope) 을 사용하여 웨이퍼 표면을 최대 3000 배까지 확대하고 여러 이미지 해상도를 지원할 수 있습니다. 마스크 및 웨이퍼 검사 장치에는 두 개의 광학 시스템 (저해상도 이미징 용 1 개, 고해상도 이미징 용 1 개) 이 장착되어 있습니다. 저해상도 이미징 머신의 이미지 크기는 최대 600hm × 600hm이며, 웨이퍼 표면을 최대 3000x까지 확대 할 수 있습니다. 고해상도 이미징 도구의 이미지 크기는 최대 50 nm × 50 nm이며 웨이퍼 표면을 최대 2048 배까지 확대 할 수 있습니다. 마스크 (Mask) 및 웨이퍼 (Wafer) 검사 에셋은 미세한 결함을 감지하고 크기와 모양을 측정하도록 설계된 패턴 인식 알고리즘을 사용합니다. 이 알고리즘은 최대 1000 나노 미터 (nanometer) 의 웨이퍼 표면을 검사할 수 있으며 최대 50 나노 미터까지 피쳐 크기를 감지 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 결함을 분석하고 의도적 인 특징이나 구조와 구별 할 수 있습니다. 마스크 및 웨이퍼 검사 장비에는 2 개의 고급 결함 분석 도구가 있습니다. 첫 번째는 결함 분류 알고리즘으로, 크기, 모양, 유형에 따라 결함을 자동으로 분류할 수 있습니다. 두 번째는 피쳐, 결함 크기, 모양을 측정할 수 있는 결함 측정 알고리즘입니다. 두 알고리즘 모두 매우 정확하며 효율적인 결과를 위해 높은 처리량을 제공합니다. AUGUST AXI-S는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 강력한 도구입니다. 최대 3000 배의 웨이퍼 서피스에 대한 세부 이미지를 제공할 수 있으며, 최대 50 나노미터까지 피쳐 크기를 감지 할 수 있습니다. 미세한 결함을 정확히 감지하고 그 모양에 따라 분류하는 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 및 결함 분석 (Defect Analysis) 알고리즘이 있습니다. 또한 두 개의 고출력 결함 분석 툴을 통해 신속하게 결함을 분석하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.