판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9245775

RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 각 프로세스 단계에서 수율 분석에 대한 정확한 측정을 제공하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 숨은 결함을 식별할 수 있어, 잠재적인 품질 위험 (Quality Risk) 을 발견할 수 있습니다. AUGUST AXI-S 시스템에는 시험 스테이션, 이미징 유닛 및 분석 소프트웨어의 세 가지 주요 부품이 있습니다. 시험 스테이션에는 6 개의 RUDOLPH AXI-S 모션 및 포지셔닝 머신, 내장 광학, 전기 모터 및 정밀 스테이지가 있습니다. 이미징 도구 (Imaging Tool) 는 샘플의 서피스에서 지형 변이와 결함을 모두 감지할 수 있습니다. 3.5 메가픽셀 CCD 카메라, LED 조명 컨트롤 및 확대 광학으로 구성됩니다. AXI-S 는 표면의 다양한 매개 변수 (예: 두께, 저항도, 에치 속도, 모양, 프로파일) 를 측정할 수 있습니다. 측정할 데이터는 서피스를 스캔하여 수집합니다. 그런 다음, 분석 소프트웨어는 이 데이터를 품질 및 수율 평가에 유용한 정보로 처리합니다. 이 자산은 사용하기 쉽고, 작은 구조물을 측정하기 위해 매우 정확하도록 설계되었습니다. 표면 결함과 하위 표면 결함을 모두 식별 할 수 있으며, 다기능 기능으로 유리, 실리콘, 폴리머, 금속 등의 재료를 측정 할 수 있습니다. 품질을 제어하기 위해 RUDOLPH/AUGUST AXI-S에는 소프트웨어 제어 광학, 셔터 제어, 광원 선택, 가변 시야각 및 자동 초점 모드와 같은 여러 기능이 있습니다. 또한이 모델에는 XY-Z 단계, 자동 수정 장비 및 파라 메트릭 테스트 모듈과 같은 액세서리가 포함됩니다. 이들은 정확성을 높이고 효율적인 운영을 촉진하는 데 사용됩니다. 높은 정확성과 유연성을 자랑하는 8 월 AXI-S 는 수익률을 높여 시간과 비용을 절감할 수 있습니다. 또한, 시스템의 데이터를 추가 수율 분석에 사용할 수 있으므로, 수율 개선을위한 이상적인 도구입니다.