판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9244847

RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 8 월 기술 (AUGUST Technologies) 의 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 반도체 제조업체가 제품을 불완전하고 결함이 없도록 도와줍니다. 이 시스템은 광학 및 도량형 기술의 최신 발전으로 설계되었으며 연구 개발, 프로세스 제어, 품질 보증 (Quality Assurance) 응용 프로그램을 지원합니다. AUGUST AXI-S 는 광범위한 검사 기능을 단일 모듈식 유닛에 통합합니다. 이 기계의 강력한 조명은 사용자 정의 가능한 파장에서 샘플을 조명하고 고급 연산 영상 (computational imaging) 기술을 활용하여 결함을 100nm까지 감지합니다. 고해상도 디지털 카메라는 뚜렷한 고대비 (high-contrast) 이미지를 만들어 표면의 불규칙성, 입자 오염, 기타 제조 불완전성 (manufacturing imperfections) 에 대한 샘플을 쉽게 분석할 수 있습니다. RUDOLPH AXI-S는 RUDOLPH 독점 O 시리즈 광학을 사용하며, 이는 뛰어난 이미지 명암과 해상도를 위해 최적화된 조명 및 파면 측정을 제공합니다. 이 도구에는 웨이퍼 (wafer) 및 샘플 (sample) 포지셔닝 단계도 포함되어 있어 이미지 설정 시간을 줄이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 또한 AXI-S 는 고급 기능 세트에 맞게 자동 마스크, 웨이퍼 프로브 및 자동 정렬을 지원합니다. 에셋은 또한 측정 분석 및 비교를위한 표준 도량형 도구 라이브러리와 더 정교한 응용 프로그램 (예: 파라 메트릭 수율 개선, 분산 결함 분석) 을위한 특수 모듈 (옵션) 을 제공합니다. RUDOLPH/AUGUST AXI-S 는 데이터베이스에서 장기 통계 프로세스 제어를 위해 수백만 건의 측정 값을 저장할 수 있으며, 측정 값을 사용자 정의 기준과 비교할 수 있습니다. 8 월 AXI-S 는 눈에 보이지 않는 결함의 감지, 현미경 (microscopic) 및 거시적 (macroscopic) 샘플의 측정 등 다양한 애플리케이션을 위해 설계된 소프트웨어와 통합됩니다. RUDOLPH/AUGUST Technologies의 Ci6 (Connected Intelligence) 플랫폼으로 구동되는 직관적인 인터페이스로, 빠른 시동 및 손쉬운 작동을 보장합니다. XRI-S (XRI-S) 는 칩 제조업체가 제품 품질을 향상시키고 생산 목표를 달성할 수 있도록 설계된, 매우 다재다능하고 강력한 장비입니다. 최신 광학· 도량형 (Optical· Metrology) 기술을 활용해 정확하고 신뢰할 수 있는 결과를 제공하며, 반도체 제조업체에 이상적인 솔루션이 될 수 있는 다양한 기능을 자랑한다.