판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9220042

RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비 및 엔지니어링 도구입니다. 반도체 업계의 마스크 및 웨이퍼를 완벽하게 자동 검사하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 높은 정확성과 반복성 (repeatability) 으로 여러 수준의 마스크와 웨이퍼를 검사할 수 있으며, 다양한 기술 기능을 빠르고 효율적으로 검사할 수 있습니다. 이 장치는 검사 프로세스를 위해 고급 이미징 기술 (예: 디지털 카메라, 레이저 스캐너) 을 사용합니다. 카메라는 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 패턴의 이미지를 캡처하고 해석을 위해 이미지를 소프트웨어로 전송합니다. 그런 다음 소프트웨어는 패턴 식별 (pattern identification), 결함 인쇄 (defect printing), 드로잉 오버레이 (overlay of drawings) 등 다양한 테스트를 수행하여 검사된 항목의 정확한 그림을 생성합니다. 이 기계는 이미징 기술 외에도 강력한 알고리즘과 신호 처리 (signal processing) 기술을 사용하여 결함을 정확하게 감지합니다. 평면 (평면) 및 3D (공간) 마스크 및 웨이퍼를 포함하여 여러 레벨의 마스크와 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 피치 (sub-pitch) 및 선 너비 (line width) 변형을 감지하여 전기 단편을 일으킬 수 있으며 침식, 노출 및 패턴 정렬을 확인할 수 있습니다. 첨단 이미징 기술 (advanced imaging technology) 과 정교한 알고리즘을 통해 도구가 잠재적인 결함을 빠르고 정확하게 감지할 수 있습니다. 이 자산에는 종합적인 데이터 관리 모델 (data management model) 이 포함되어 있어 검사 결과를 추적할 수 있습니다. 사용자는 데이터 관리 장비 (data management equipment) 를 통해 과거 테스트 결과를 저장, 검색할 수 있으며, 이를 사용하여 다양한 제품 배치를 비교할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 제품의 모든 변경 사항을 신속하게 감지하고 잠재적인 품질 (quality deviation) 을 감지할 수 있습니다. 전반적으로 8 월 AXI-S 는 혁신적이고 강력한 마스크/웨이퍼 검사 시스템/엔지니어링 툴로서, 광범위한 반도체 애플리케이션을 위해 설계되었습니다. 첨단 이미징 기술 (Advanced Imaging Technology) 과 강력한 알고리즘은 종합적인 데이터 관리 장치 (Data Management Unit) 와 결합하여 단기간에 가장 작은 결함을 감지하는 데 이상적입니다.