판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293706155

RUDOLPH / AUGUST AXI-S
ID: 293706155
빈티지: 2006
Wafer inspection system 2006 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 베어 반도체 웨이퍼 및 포토 마스크 (photomask) 의 최고 품질의 이미지를 제공하기 위해 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. AUGUST AXI-S는 2D 및 3D 이미징에 대한 검사 솔루션을 위한 원스톱 회사로서, 자동 다이 투 다이 (die-to-die) 정렬, 조정 가능한 초점 깊이 및 즉석 데이터 분석 기능을 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 고해상도 CCD 카메라가 장착되어 있어 시간당 최대 6,000 개의 웨이퍼를 검색할 수 있으며, 이는 매우 정확합니다. 고급 광학 장치 (Optical Unit) 는 최대 30kg의 해상도로 이미지를 캡처하여 흐리게 또는 어두운 표시, 반사 표면의 결함, 색상 검출 등에 이상적입니다. 또한 에지 감지 (edge detection), 오류 맵 복원 (error map restitution), 자동 결함 격리 (automatic defect isolation) 와 같은 최첨단 기능도 포함되어 있습니다. RUDOLPH AXI-S는 최대 500mm 시야를 통합하여 소형 및 대형 웨이퍼에 이상적입니다. 통합된 대화형 기능을 사용하면 사용자 지정 단일/다중 이미지 획득에 대한 설정을 정의할 수 있습니다. 또한, 독보적인 구성 기능을 통해 자동화된 레시피를 만들어 효율성을 높일 수 있습니다. AXI-S 는 결함 감지 외에도 자동 웨이퍼 분류도 제공합니다. 이 기능은 사용자가 정의한 기준에 따라 웨이퍼를 정확하게 분류하므로 재료 이상 (material anomalies), 전기 문제의 위험이 높은 영역 (area) 등을 신속하게 식별할 수 있습니다. RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 자동 결함 정량화 및 보고도 지원합니다. 이 고유한 기능은 고급 이미징 (advanced imaging) 기능을 사용하여 결함 식별을 간소화하고 발견된 총 결함 수를 신속하게 계산할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 사용자는 신속하게 이미지를 수집하고, 데이터를 처리하고, 보고서를 생성할 수 있습니다. 8 월 AXI-S 는 소프트웨어/하드웨어의 확장성을 모두 갖추고 있어 고유한 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. RUDOLPH AXI-S (루돌프 AXI-S) 는 강력하고 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 이 모델은 고급 기능과 직관적인 인터페이스 (interface) 를 통해 고품질 이미지를 제공하고 효율적이고 정확한 검사 결과를 제공하도록 설계되었습니다.
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