판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293706154

RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 AUGUST Technologies에서 설계 한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 다양한 마스크 패턴 (mask pattern) 과 웨이퍼 (wafer) 내의 결함을 최고 수준의 정확도로 감지, 문서화 및 특성화할 수 있습니다. 이 장치는 2 개의 주요 구성 요소, 이미징 서브 시스템 및 분석 서브 시스템으로 구성됩니다. 이미징 하위 시스템은 고급 CMOS 확장 정의 카메라 (Extended Definition Camera) 를 사용하여 심도가 큰 고해상도 이미지를 캡처합니다. 이를 통해 매우 작은 기능뿐만 아니라, 반복 가능한 (repeatable) 검사를 신뢰할 수 있는 결과로 잘 검사할 수 있습니다. 그런 다음, 내장 알고리즘을 사용하여 얻은 데이터를 분석하여 잠재적 결함 또는 불규칙성을 식별할 수 있습니다. 기계는 또한 RUDOLPH 패턴 인식 소프트웨어와 결합 될 수 있으며, 이는 결함을 식별하는 데 더 정확성을 제공합니다. 분석 하위 시스템은 여러 입력 채널과 다중 계층 분석 전략을 사용합니다. 이렇게 하면 서피스 및 서브 서피스 결함 탐지가 모두 가능합니다. 또한 8 월 AXI-S 를 사용하여 결함의 패턴, 모서리 및 방향을 결정할 수 있습니다. 마지막으로, 도구는 결함의 정량화를 허용합니다. 결함의 다양한 특성 (예: 크기, 모양, 깊이) 을 나타낼 수 있습니다. 자산의 결과는 중앙 데이터베이스 (Central Database) 에 저장되며, 검사 진행 상황을 추적하고 검사로부터 생성된 통계 데이터 (Statistical Data) 를 액세스할 수 있습니다. 이는 검사 과정에 패턴 인식 및 일관성을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, 사용자 기본 설정을 기반으로 하는 고급 검토 기능 및 자동 검토 제안 (automated review propestions) 을 통해 효율성과 정확성이 향상됩니다. RUDOLPH AXI-S는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 고급 도구입니다. 고해상도 이미징 기능과 강력한 분석 소프트웨어 (analysis software) 를 통해 반복 가능한 결과를 통해 정확하고 안정적으로 검사할 수 있습니다. 결함을 정량화하고 데이터를 검토하는 기능을 통해 검사된 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 를 보다 효율적이고 정확하게 검토할 수 있습니다.