판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293637922

RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 AUGUST Technologies의 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로 수동 검사와 자동 검사 사이의 간격을 연결합니다. 8 월 AXI-S 는 고급 이미지 분석 알고리즘과 직관적인 소프트웨어 (software) 를 결합하여 반도체 마스크의 현지화된 영역에서 마스크 결함 및 처리 결함을 정확하게 감지할 수 있습니다. 시스템은 EMP (Edge Map Profiling) 를 사용하여 피쳐 모서리를 감지하며, 0.5 미크론 정도의 작은 기능을 감지할 수 있습니다. 루돌프 AXI-S (RUDOLPH AXI-S) 는 결함이 없는 영역을 포함하여 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면을 검사하여 전통적인 검사 방법으로 누락 된 결함을 감지 할 수 있습니다. AXI-S 는 이미지 분석 알고리즘의 사용과 같은 영역의 여러 이미지를 분석하는 기능 때문에 마스크 검사 장치 (Mask Inspection Unit) 에서 사용할 수 있는 가장 큰 결함 민감도 (Defect Sensitivity) 를 제공합니다. 이것은 스테레오 이미징, 다크 필드 이미징, 스캐닝 전자 현미경과 같은 여러 가지 기술을 결합하여 달성됩니다. 고도 (High Defect) 분석 속도를 제공하는데, 이를 통해 결함을 신속하게 감지하고 분석할 수 있는 고급 알고리즘을 사용할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 강력한 이미지 데이터베이스 도구 (image database tool) 를 사용하여 여러 검사에 걸쳐 결함 데이터를 저장하고 쉽게 액세스할 수 있습니다. RUDOLPH/AUGUST AXI-S 는 완전히 자동화되어 있으며, 검사 과정에서 이미징 자산에 초점을 맞추고 민감도 수준을 조정할 수 있습니다. 또한 상세한 검사 보고서를 작성하여 사용자가 검사 (Inspection) 에 대한 필요한 모든 정보에 액세스할 수 있도록 합니다. 또한 예제 영역 선택 기능 (sample area selection feature) 을 사용하여 사용자가 검사할 웨이퍼의 특정 영역만 선택할 수 있습니다. 따라서 불필요한 영역을 건너뛰면 검사 시간을 줄일 수 있습니다. 8 월 AXI-S 는 다양한 크기와 모양의 마스크, 기판을 소형에서 대형으로 검사할 수 있습니다. 정확도가 높고 정밀하기 때문에 복잡한 회로 및 기타 특수 생산 환경을 검사하는 데 적합한 선택이 됩니다 (영문). 또한, 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 경험이 부족한 사용자조차도 모델 작동 방법을 빠르게 배울 수 있습니다. 루돌프 AXI-S (RUDOLPH AXI-S) 는 여러 언어에 대한 지원과 상세한 보고서 생성 기능의 장점을 더해, 검사 프로세스 자동화에 이상적인 선택입니다.