판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293634919
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
RUDOLPH/AUGUST AXI-S는 반도체 제조를 위해 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 고해상도 (Optic) 와 고속 스캐닝 (Scanning) 및 포지셔닝 정확도를 결합하여 마스크와 웨이퍼의 결함을 파악하고 검사할 수 있는 안정적이고 견고한 시스템을 제공합니다. 이 장치는 초고해상도에서 결함을 정확하게 감지하고 측정할 수 있으며, 최고 수준의 마스크 (mask) 및 웨이퍼 (wafer) 품질 보증을 제공합니다. AUGUST AXI-S에는 고속 시선 카메라가 장착 된 혁신적인 3D 조명기가 있습니다. 최대 속도는 초당 최대 100 이미지이고 최대 해상도는 최대 6 ° m입니다. 이미징 도구는 3 차원 전방향 이미징 기술을 사용하여 전체 필드 표면 데이터를 캡처합니다. 그런 다음 이 데이터는 자동으로 분석되고 SEM 이미지를 포함한 결함 식별 정보와 상관 관계가 있습니다. 에셋은 또한 웨이퍼를 쉽게 전면 적재 및 언로드하고 200mm에서 8 인치까지 다양한 웨이퍼 크기를 제공합니다. 또한이 모델에는 고급 결함 검사 기능이 있습니다. 그림자 이미징, 시각 결함 감지, 표면 서명, 이미지 처리, 익스트림 패턴 인식 등 다양한 감지 알고리즘이 장착되어 있습니다. 이 장비는 자율 운영 (autonomous operation) 이 가능하며 기존 생산 흐름과 자동화 (automation) 에 쉽게 통합되어 효율성을 높일 수 있습니다. 또한 RUDOLPH AXI-S 는 자동화된 사전/사후 처리, 정확한 결함 감소, 전체 웨이퍼 구성 분석 기능 등 다양한 추가 기능을 제공합니다. 또한 모듈식 (modular) 설계를 통해 특정 애플리케이션 요구 사항과 고객 요구 사항에 손쉽게 대응할 수 있습니다. 전반적으로 AXI-S 는 안정적이고 강력한 마스크/웨이퍼 (wafer) 검사 시스템으로, 가장 효율적인 프로세스 구현을 통해 최고의 품질 보증 및 생산성을 제공하는 고급 기능과 기능을 제공합니다. 고속, 고해상도 (high-resolution) 광학, 고급 결함 감지 알고리즘을 통해 반도체 제조가 효율성과 정확성을 극대화하도록 보장합니다.
아직 리뷰가 없습니다