판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-940B #293730534
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RUDOLPH/AUGUST AXI-940B Mask and Wafer Inspection Equipment는 반도체 제조에 사용되는 마스크와 웨이버를 검사하기위한 형광 기반 도구입니다. 이 시스템의 핵심은 XYZ 스캔 (XYZ Scan) 단계이며, 검사 목표에 대한 정렬을 유지하면서 정확하고 반복적인 샘플 통과를 가능하게합니다. 스캔 단계는 고급 초고속 피에조 (piezo) 모터로 구동되며 대기 시간이 짧고 정밀도가 높은 스캔을 제공합니다. 변위 해상도는 고속 결함 감지과 같은 응용 프로그램에도 조정이 가능합니다. AUGUST AXI-940B Mask 및 Wafer Inspection Unit에는 고해상도 이미지 캡처를 위한 광학적으로 정렬된 정밀 목표도 포함되어 있습니다. 이러한 렌즈는 마스크와 웨이퍼를 모두 수용하도록 조정할 수 있습니다. 이 목표는 수동 또는 전자 구성으로 제공될 수 있습니다. 이 기계는 사용자 환경에 유연하도록 설계되었으며, 필요에 따라 목표를 교환 (exchange) 할 수 있습니다. 고성능, 특히 설계된 LED 구조는 전체 시야를 조명하고, 무진동 이미징을 지원하는 데 사용됩니다. 이 LED 구조는 강도와 색채가 모두 제어되는 균일 한 조명을 생성합니다. 이 도구는 CMOS 센서를 사용하여 스틸 이미지를 가져오고 실시간 비디오를 얻습니다. 이 CMOS 센서는 신호 대 잡음비가 높은 최대 16비트 해상도로 이미지를 캡처할 수 있습니다. RUDOLPH AXI-940B Mask 및 Wafer Inspection Asset에는 검사 프로세스를 지원하는 다양한 소프트웨어 패키지도 포함되어 있습니다. 이러한 소프트웨어 패키지는 결함을 분석, 감지할 수 있으며, 이미지 세분화 (image segmentation) 와 같은 고급 기능도 사용할 수 있습니다. 소프트웨어 패키지는 사용자 친화적이며, 신속하고 쉽게 문제를 식별할 수 있습니다. AXI-940B Mask 및 Wafer Inspection Model은 반도체 제작에 사용되는 마스크와 웨이버를 검사하기 위한 고급 도구입니다. XYZ 스캔 단계, 정밀 목표, LED 구조 및 16비트 CMOS 센서는 탁월한 정밀도 및 이미지 캡처 기능을 제공합니다. 또한 사용자 친화적인 소프트웨어 패키지는 검사 (Inspection) 프로세스를 지원하므로 문제를 쉽게 파악하고 해결할 수 있습니다. RUDOLPH/AUGUST AXI-940B는 모든 반도체 제조 시설에 필수적인 도구입니다.
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