판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-935D #9260380

RUDOLPH/AUGUST AXI-935D Mask & Wafer Inspection 장비는 고속 및 매우 정밀하게 웨이퍼에 단일/다중 레이어 패턴을 검사하고 측정하도록 설계된 자동 도구입니다. 맥베스 컬러 교정 시스템 (Macbeth Color Correction System) 과 5.7형 (대각선) LCD 모니터를 사용하여 웨이퍼에 있는 패턴을 생생하고 고대비 조회할 수 있습니다. AUGUST AXI-935D 에는 세 가지 유형의 정렬 테스트를 수행하는 통합 정렬 장치가 있어 높은 정확도, 해상도, 속도를 제공합니다. 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 인터페이스를 빠르고 정확하게 정렬하고 검사 과정에서 완벽하게 정렬되도록 설계되었습니다. 공구가 조사한 패턴의 크기는 구성 가능하며, 패턴에서 3 미크론 (micron) 정도 작게 분석을 수행 할 수 있습니다. 기계 의 감도 는 조절 할 수 있으며, 크기 에 관계 없이 "패턴 '의 결함 이나 이상 을 감지 할 수 있다. RUDOLPH AXI-935D는 시간당 최대 400 웨이퍼의 세로 및 가로 스캔 모두에서 검사 속도를 제공합니다. 신뢰성이 높고, 전자제품 및 제어 회로가 내장되어 있으며, 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크를 검사하도록 신속하게 재구성 할 수 있습니다. 이 도구는 단일 레이어 검사 (Single Layer Inspection) 와 같은 여러 스캐닝 모드를 지원하며 단일 노출에서 여러 레이어의 패턴을 검사합니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 의 "패턴 '이 다른 결함 을 식별 할 수 있게 해 주는 반전 된" 패턴' 도 식별 할 수 있다. AXI-935D 는 사용이 간편한 소프트웨어 인터페이스를 제공하는 AXI-935D 로, 자산의 효율적인 작동과 제어를 지원합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 각 사용자의 개별 요구에 맞게 모델을 효율적으로 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 (Software) 에는 결과 관리를위한 여러 기능과 상세한 검사 보고서 및 통계 생성 기능이 포함되어 있습니다. RUDOLPH/AUGUST AXI-935D Mask & Wafer Inspection 장비는 품질 관리를 극대화하고 결함을 줄이기 위해 원하는 모든 프로덕션 라인을 위한 강력한 도구입니다. 고급 기능, 사용자 친화적 인터페이스, 고해상도 정렬 시스템 등을 통해 대용량, 고품질 생산에 적합합니다.