판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-935 #9275463

RUDOLPH/AUGUST AXI-935는 생산 결함을 확인하고 예방하기 위해 설계된 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 듀얼 빔 비접촉 이미징, 고속 에지 스캐닝, 저배율 웨이퍼 스캐닝, 자동 결함 분류 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이 장치는 350mm 웨이퍼 스테이지를 사용하며 직경 최대 8 인치의 웨이퍼 크기를 측정 할 수 있습니다. AXi 기계에는 2 개의 빔 (하나는 밝은 필드 용, 다른 하나는 어두운 필드 이미징 용) 이 장착되어 있어 매우 높은 해상도로 이미지를 제작할 수 있습니다. "와퍼 '의 앞뒤 에서 검사 를 하도록" 빔' 을 조정 할 수 있다. 이 기능을 사용하면 nano 스케일 레벨에서도 공구가 결함을 식별할 수 있습니다. 에셋은 또한 낮은 배경, 낮은 kV 이미징 모델을 특징으로하여 전통적인 이미징 기술이 누락 된 미묘한 결함을 감지 할 수 있습니다. 결함 분류를 위해 AXi 장비는 고속 패턴 인식 시스템을 사용합니다. 이 기술은 가장 복잡한 표면 결함을 정확하게 식별하고 분류 할 수 있습니다. 또한 자동 기능 인식 (Automated Feature Recognition) 기능을 통해 반복 가능한 결함을 빠르고 정확하게 파악할 수 있습니다. 또한, AXi 기계에는 x 축과 y 축 모두에서 샘플을 정확하게 측정 할 수있는 고속 에지 스캐닝 도구가 있습니다. 이를 통해 자산은 뛰어난 치수 정확도와 위치 정확도를 제공 할 수 있습니다. 매우 정밀한 인코더 (encoder) 모델을 사용하면 장비가 마스크 위치를 정확하게 추적하고, 표면의 거칠기와 함께 결함의 정확한 크기와 모양을 계산할 수 있습니다. 마지막으로, AXi 시스템은 직관적인 사용자 인터페이스를 자랑하며, 이를 통해 사용자는 설정을 사용자 정의하고 장치 성능을 최적화할 수 있습니다. 또한 운영자와 샘플을 위험으로부터 보호하기 위해 향상된 안전 기능을 제공합니다. 이 모든 기능을 통해 AUGUST AXI-935 는 Wafer 및 Mask 의 결함을 신속하고 안정적으로 감지할 수 있는 이상적인 시스템입니다.